公开(公告)号：KR101239636B1

公开(公告)日：2013-03-11

申请号：KR1020110032913

申请日：2011-04-08

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 임근배 ,  안태창 ,  김진영 ,  성중우 ,  이상우

IPC: H03H9/24 ,  B81B7/02

CPC classification number: H03H3/0072 ,  B81B2201/0271 ,  B81C1/00682 ,  G01C19/5783 ,  H03H9/02338 ,  H03H9/2457 ,  Y10T29/49117

Abstract: 본 발명은 MEMS 공진기, 이를 구비하는 센서 및 MEMS 공진기의 제조방법에 관한 것으로, 상기 MEMS 공진기는, 일면에서 리세스되는 리세스부를 구비하는 MEMS 공진기의 베이스 기판과, 상기 리세스부의 빈공간을 이용하여 진동하도록 상기 베이스 기판에 장착되고 적어도 일부가 상기 리세스부와 중첩되도록 배치되는 진동자, 및 상기 진동자의 적어도 일부를 지지하여 상기 MEMS 공진기의 고유주파수를 조정하도록 상기 진동자와 베이스 기판에 각각 연결되는 와이어를 포함한다. 이에 의하여 공진기의 고유주파수가 용이하게 조정될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020120115013A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：KR1020110032913

申请日：2011-04-08

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 임근배 ,  안태창 ,  김진영 ,  성중우 ,  이상우

IPC: H03H9/24 ,  B81B7/02

CPC classification number: H03H3/0072 ,  B81B2201/0271 ,  B81C1/00682 ,  G01C19/5783 ,  H03H9/02338 ,  H03H9/2457 ,  Y10T29/49117

Abstract: PURPOSE: An MEMS(Micro Electromechanical System) resonator, a sensor having the same, and a manufacturing method for the MEMS resonator are provided to restore a natural frequency of the MEMS resonator by electrically simply cutting a generated wire. CONSTITUTION: An MEMS resonator(200) comprises a base substrate, a vibrator(212), and a wire. The base substrate of the MEMS resonator includes a recessed recess portion(201a) on one side thereof. The vibrator vibrates using an empty space of the recess portion. The vibrator includes a part which is arranged to be overlapped with the recess portion on the base substrate. The wire is respectively connected to the vibrator and the base substrate to control a natural frequency of the MEMS resonator by supporting at least some part of the vibrator.

Abstract translation: 目的：提供一种MEMS（微机电系统）谐振器，具有该MEMS谐振器的传感器和用于MEMS谐振器的制造方法，以通过电简单地切割所产生的线来恢复MEMS谐振器的固有频率。 构成：MEMS谐振器（200）包括基底基板，振动器（212）和导线。 MEMS谐振器的基底包括在其一侧的凹陷凹部（201a）。 振动器使用凹部的空的空间振动。 振动器包括被布置成与基底基板上的凹部重叠的部分。 导线分别连接到振动器和基底基板，以通过支撑振动器的至少一部分来控制MEMS谐振器的固有频率。