플라즈마 밀도 분포 측정용 회전형 광프로브
    1.
    发明授权
    플라즈마 밀도 분포 측정용 회전형 광프로브 失效
    用于测量等离子体密度分布的旋转型照相探测器

    公开(公告)号:KR100236232B1

    公开(公告)日:1999-12-15

    申请号:KR1019970077541

    申请日:1997-12-30

    Abstract: 본 발명은 플라즈마 밀도의 공간적인 분포를 알아낼 수 있도록 하는 회전형 광프로브에 관한 것이다.
    이러한 본 발명의 회전형 광프로브는 플라즈마 측정위치에서 평행한 광신호를 수집하여 수평방향으로 전달하는 광프로브 헤드와, 광프로브 헤드에서 전달된 수평방향으로 평행한 광신호를 집속하는 광프로브바디와, 광프로브 바디에서 집속된 광신호를 분광기로 전달하는 광프로브 소켓과, 상기 회전형 광프로브를 회전시키고 수평방향으로 이동시키는 구동모터를 구비시킴으로써 이루어진다.

    플라즈마 밀도 분포 측정용 회전형 광프로브
    2.
    发明公开
    플라즈마 밀도 분포 측정용 회전형 광프로브 失效
    用于测量等离子体密度分布的旋转光学探头

    公开(公告)号:KR1019990057488A

    公开(公告)日:1999-07-15

    申请号:KR1019970077541

    申请日:1997-12-30

    Abstract: 본 발명은 플라즈마 밀도의 공간적인 분포를 알아낼 수 있도록 하는 회전형 광프로브에 관한 것이다.
    이러한 본 발명의 회전형 광프로브는 플라즈마 측정위치에서 평행한 광신호를 수집하여 수평방향으로 전달하는 광프로브 헤드와, 광프로브 헤드에서 전달된 수평방향으로 평행한 광신호를 집속하는 광프로브바디와, 광프로브 바디에서 집속된 광신호를 분광기로 전달하는 광프로브 소켓과, 상기 회전형 광프로브를 회전시키고 수평방향으로 이동시키는 구동모터를 구비시킴으로써 이루어진다.

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