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公开(公告)号：KR1020010009045A
公开(公告)日：2001-02-05
申请号：KR1019990027192
申请日：1999-07-07
Applicant: 기초과학지원연구소
CPC classification number: G01J3/0202 , G01J1/16 , G01J1/44 , G01J3/1833 , G01J2001/448
Abstract: PURPOSE: A vacuum x-ray spherically-bent crystal spectroscope is provided to optically precisely align the whole system, thereby employing the spectroscope with relation to various Bragg angles by using a rotatable vacuum container without any loss of strength while the x-ray is advancing and performing two-dimensional x-ray measurement by using the spherically-bent crystal and a CCD camera for the x-ray. CONSTITUTION: A vacuum x-ray spherically-bent crystal spectroscope includes a vacuum container port(1) rotatable for measuring various Bragg angles, and a CCD camera as a detector for obtaining two-dimensional x-ray images, wherein the detector is rotatable to be aligned in a tangent line of a Rowland circle, a rotator(3) is attached to an o-ring(2) with a size larger than a window of the port and a guide rail(8) attached with a warm gear is mounted to the rotator for precisely and easily rotate the rotator according to a desired angle.
Abstract translation: 目的：提供真空x射线球面弯曲晶体分光镜，以光学精确对准整个系统，从而通过使用可旋转的真空容器使用分光镜与各种布拉格角度，而X射线前进时不会有任何的强度损失 并且通过使用球形弯曲晶体和用于X射线的CCD照相机进行二维X射线测量。 构成：真空x射线球面弯曲晶体分光仪包括可旋转的用于测量各种布拉格角的真空容器端口（1）和用作获得二维X射线图像的检测器的CCD照相机，其中检测器可旋转 在罗兰圆的切线对准，旋转体（3）被附接到尺寸大于端口窗口的O形环（2），并且安装有暖齿轮的导轨（8）被安装 到旋转器，以便根据期望的角度精确且容易地旋转旋转器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100236232B1
公开(公告)日：1999-12-15
申请号：KR1019970077541
申请日：1997-12-30
Applicant: 기초과학지원연구소
Abstract: 본 발명은 플라즈마 밀도의 공간적인 분포를 알아낼 수 있도록 하는 회전형 광프로브에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 회전형 광프로브는 플라즈마 측정위치에서 평행한 광신호를 수집하여 수평방향으로 전달하는 광프로브 헤드와, 광프로브 헤드에서 전달된 수평방향으로 평행한 광신호를 집속하는 광프로브바디와, 광프로브 바디에서 집속된 광신호를 분광기로 전달하는 광프로브 소켓과, 상기 회전형 광프로브를 회전시키고 수평방향으로 이동시키는 구동모터를 구비시킴으로써 이루어진다.-
公开(公告)号：KR1019990057488A
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019970077541
申请日：1997-12-30
Applicant: 기초과학지원연구소
Abstract: 본 발명은 플라즈마 밀도의 공간적인 분포를 알아낼 수 있도록 하는 회전형 광프로브에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 회전형 광프로브는 플라즈마 측정위치에서 평행한 광신호를 수집하여 수평방향으로 전달하는 광프로브 헤드와, 광프로브 헤드에서 전달된 수평방향으로 평행한 광신호를 집속하는 광프로브바디와, 광프로브 바디에서 집속된 광신호를 분광기로 전달하는 광프로브 소켓과, 상기 회전형 광프로브를 회전시키고 수평방향으로 이동시키는 구동모터를 구비시킴으로써 이루어진다.-
公开(公告)号：KR100328118B1
公开(公告)日：2002-03-12
申请号：KR1019990027192
申请日：1999-07-07
Applicant: 기초과학지원연구소
Abstract: 본발명은많은브래그(Bragg)각을정밀정렬하여쓸 수있는진공 X-선구면결정분광기에관한것으로서, 더상세하게는광학용구면결정 (spherically -bent crystal)을사용한진공 x-선분광기시스템으로다양한브래그(Bragg) 각에대하여응용할수 있고, CCD카메라를검출기로이용하여높은측정감도와이차원적인 x-선상을얻을수 있으며, 또한약한강도의 x-선환경에도이용할수 있고, 광학적으로정밀하게정렬이가능한진단용진공 x-선결정분광기에관한것이다. 다양한브래그(Bragg)각에대하여측정가능하도록포트(1)가회전이가능하며, CCD카메라(51)를검출기로이용하여높은측정감도와이차원적인 x-선상을얻을수 있으며, 광학적으로정밀하게론란원상의접선방향으로정렬이가능하도록검출기가회전이되게구성되어진많은브래그각을정밀정렬하여쓸 수있는진공 X-선구면결정분광기이다.
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公开(公告)号：KR100212441B1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR1019960022465
申请日：1996-06-20
Applicant: 기초과학지원연구소
IPC: H01L21/3065
Abstract: 본 발명은 플라즈마의 언저리 바이어싱을 이용하여 양이온과 전자등 하전입자의 입자 속을 제어하는 것으로서, 플라즈마 진공용기의 언저리에 설치한 전극에 전압을 인가하여 전극이 설치되지 않은 방향으로 이온과 전자등 하전입자의 흐름을 제어하는 플라즈마의 언저리 바이어싱(edge biasing)에 의한 하전입자속(charged particle flux) 제어법이다.
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