公开(公告)号：KR101685249B1

公开(公告)日：2016-12-12

申请号：KR1020140054704

申请日：2014-05-08

Applicant: 단국대학교 산학협력단

Inventor： 박재형 ,  이승기 ,  조종수 ,  김준호 ,  이성우 ,  정해수

IPC: G02B26/08

Abstract: 정자기력을구동력으로이용한스캐닝마이크로미러가개시된다. 이는기판에집적된자계코일에전류가흐를때 발생되는자계와마이크로미러배면에결합된영구자석사이에발생하는토크를회전력으로이용한다. 기판에집적된자계코일은유리기판을관통하는금속비아(via) 구조를이용하여구현되며전류인가시 자계가발생한다. 마이크로미러하단에부착된영구자석내부의자계와외부코일에서발생되는외부자계가정렬하는방향으로토크가발생하여마이크로미러를회전시킨다.

Abstract translation: 公开了使用静磁力作为驱动力的扫描微镜。 扫描微镜使用当电流沿着与基板一体化的磁性线圈流动时产生的磁场，以及在与微反射镜的背面组合的永磁体之间产生的转矩作为转动力。 与基板一体化的磁性线圈由穿透玻璃基板的金属通孔结构形成。 当施加电流时产生磁场。 在外部线圈产生的外部磁场的对准方向和附着于微反射镜的下端的永久磁铁内的内部磁场产生转矩。 所以微镜可以旋转。

公开(公告)号：KR1020150129125A

公开(公告)日：2015-11-19

申请号：KR1020140054704

申请日：2014-05-08

Applicant: 단국대학교 산학협력단

Inventor： 박재형 ,  이승기 ,  조종수 ,  김준호 ,  이성우 ,  정해수

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/08 ,  G02B26/0816

Abstract: 정자기력을구동력으로이용한스캐닝마이크로미러가개시된다. 이는기판에집적된자계코일에전류가흐를때 발생되는자계와마이크로미러배면에결합된영구자석사이에발생하는토크를회전력으로이용한다. 기판에집적된자계코일은유리기판을관통하는금속비아(via) 구조를이용하여구현되며전류인가시 자계가발생한다. 마이크로미러하단에부착된영구자석내부의자계와외부코일에서발생되는외부자계가정렬하는방향으로토크가발생하여마이크로미러를회전시킨다.

Abstract translation: 公开了使用静磁力作为驱动力的扫描微镜。 扫描微镜使用当电流沿着与基板一体化的磁性线圈流动时产生的磁场，以及在与微反射镜的背面组合的永磁体之间产生的转矩作为转动力。 与基板一体化的磁性线圈由穿透玻璃基板的金属通孔结构形成。 当施加电流时产生磁场。 在外部线圈产生的外部磁场的对准方向和附着于微反射镜的下端的永磁体内的内部磁场产生转矩。 所以微镜可以旋转。