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公开(公告)号：KR101685249B1
公开(公告)日：2016-12-12
申请号：KR1020140054704
申请日：2014-05-08
Applicant: 단국대학교 산학협력단
IPC: G02B26/08
Abstract: 정자기력을구동력으로이용한스캐닝마이크로미러가개시된다. 이는기판에집적된자계코일에전류가흐를때 발생되는자계와마이크로미러배면에결합된영구자석사이에발생하는토크를회전력으로이용한다. 기판에집적된자계코일은유리기판을관통하는금속비아(via) 구조를이용하여구현되며전류인가시 자계가발생한다. 마이크로미러하단에부착된영구자석내부의자계와외부코일에서발생되는외부자계가정렬하는방향으로토크가발생하여마이크로미러를회전시킨다.
Abstract translation: 公开了使用静磁力作为驱动力的扫描微镜。 扫描微镜使用当电流沿着与基板一体化的磁性线圈流动时产生的磁场，以及在与微反射镜的背面组合的永磁体之间产生的转矩作为转动力。 与基板一体化的磁性线圈由穿透玻璃基板的金属通孔结构形成。 当施加电流时产生磁场。 在外部线圈产生的外部磁场的对准方向和附着于微反射镜的下端的永久磁铁内的内部磁场产生转矩。 所以微镜可以旋转。
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公开(公告)号：KR1020150129125A
公开(公告)日：2015-11-19
申请号：KR1020140054704
申请日：2014-05-08
Applicant: 단국대학교 산학협력단
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/08 , G02B26/0816
Abstract: 정자기력을구동력으로이용한스캐닝마이크로미러가개시된다. 이는기판에집적된자계코일에전류가흐를때 발생되는자계와마이크로미러배면에결합된영구자석사이에발생하는토크를회전력으로이용한다. 기판에집적된자계코일은유리기판을관통하는금속비아(via) 구조를이용하여구현되며전류인가시 자계가발생한다. 마이크로미러하단에부착된영구자석내부의자계와외부코일에서발생되는외부자계가정렬하는방향으로토크가발생하여마이크로미러를회전시킨다.
Abstract translation: 公开了使用静磁力作为驱动力的扫描微镜。 扫描微镜使用当电流沿着与基板一体化的磁性线圈流动时产生的磁场，以及在与微反射镜的背面组合的永磁体之间产生的转矩作为转动力。 与基板一体化的磁性线圈由穿透玻璃基板的金属通孔结构形成。 当施加电流时产生磁场。 在外部线圈产生的外部磁场的对准方向和附着于微反射镜的下端的永磁体内的内部磁场产生转矩。 所以微镜可以旋转。
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公开(公告)号：KR101885422B1
公开(公告)日：2018-08-06
申请号：KR1020160054843
申请日：2016-05-03
Applicant: 단국대학교 산학협력단
Abstract: 전자기력구동스캐닝마이크로미러장치및 그제조방법이개시된다. 이는중앙부위에개방홀을가지는기판과, 개방홀에배치되어미러판을포함하고전자기력에의해미러판의반사각도의조절이가능하도록설치되는미러유닛과, 미러판의상부에상부공간을제공하도록기판의상면에배치되는상부캡부와, 미러판의하부에하부공간을제공하도록기판의하면에배치되는하부캡부를포함한다. 미러유닛의코일은수직형비아콘택요소를통하여외부접속패드와연결된다.
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公开(公告)号：KR1020170125182A
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：KR1020160054843
申请日：2016-05-03
Applicant: 단국대학교 산학협력단
Abstract: 전자기력구동스캐닝마이크로미러장치및 그제조방법이개시된다. 이는중앙부위에개방홀을가지는기판과, 개방홀에배치되어미러판을포함하고전자기력에의해미러판의반사각도의조절이가능하도록설치되는미러유닛과, 미러판의상부에상부공간을제공하도록기판의상면에배치되는상부캡부와, 미러판의하부에하부공간을제공하도록기판의하면에배치되는하부캡부를포함한다. 미러유닛의코일은수직형비아콘택요소를통하여외부접속패드와연결된다.
Abstract translation: 公开了一种电磁力驱动扫描微镜器件及其制造方法。 镜单元，所述镜单元设置在所述开口孔中并且包括镜板，所述镜单元被安装成通过电磁力调节所述镜板的反射角; 设置在镜板的上表面上的上盖部分和设置在基板的下表面上的下盖部分，以在镜板下方提供下部空间。 镜单元的线圈通过垂直通孔接触元件连接到外部连接垫。
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