公开(公告)号：KR101885422B1

公开(公告)日：2018-08-06

申请号：KR1020160054843

申请日：2016-05-03

Applicant: 단국대학교 산학협력단

Inventor： 박재형 ,  이승기 ,  김용권 ,  지창현 ,  이성우

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10

Abstract: 전자기력구동스캐닝마이크로미러장치및 그제조방법이개시된다. 이는중앙부위에개방홀을가지는기판과, 개방홀에배치되어미러판을포함하고전자기력에의해미러판의반사각도의조절이가능하도록설치되는미러유닛과, 미러판의상부에상부공간을제공하도록기판의상면에배치되는상부캡부와, 미러판의하부에하부공간을제공하도록기판의하면에배치되는하부캡부를포함한다. 미러유닛의코일은수직형비아콘택요소를통하여외부접속패드와연결된다.

公开(公告)号：KR1020170125182A

公开(公告)日：2017-11-14

申请号：KR1020160054843

申请日：2016-05-03

Applicant: 단국대학교 산학협력단

Inventor： 박재형 ,  이승기 ,  김용권 ,  지창현 ,  이성우

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10

Abstract: 전자기력구동스캐닝마이크로미러장치및 그제조방법이개시된다. 이는중앙부위에개방홀을가지는기판과, 개방홀에배치되어미러판을포함하고전자기력에의해미러판의반사각도의조절이가능하도록설치되는미러유닛과, 미러판의상부에상부공간을제공하도록기판의상면에배치되는상부캡부와, 미러판의하부에하부공간을제공하도록기판의하면에배치되는하부캡부를포함한다. 미러유닛의코일은수직형비아콘택요소를통하여외부접속패드와연결된다.

Abstract translation: 公开了一种电磁力驱动扫描微镜器件及其制造方法。 镜单元，所述镜单元设置在所述开口孔中并且包括镜板，所述镜单元被安装成通过电磁力调节所述镜板的反射角; 设置在镜板的上表面上的上盖部分和设置在基板的下表面上的下盖部分，以在镜板下方提供下部空间。 镜单元的线圈通过垂直通孔接触元件连接到外部连接垫。