公开(公告)号：KR100248568B1

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019940002752

申请日：1994-02-16

Applicant: 도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤 ,  도오교오에레구토론가부시끼가이사

Inventor： 미야자키다카노리 ,  고바야시가즈히코 ,  가미카와유우지 ,  다시마지하야

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67034 ,  F26B21/145 ,  F26B25/009 ,  H01L21/67781 ,  Y10S134/902 ,  Y10S203/07

Abstract: 반도체 웨이퍼의 세정처리 시스템에 조립된 웨이퍼의 건조장치는 IPA를 수용하는 탱크를 구비한다. 탱크에는 IPA의 증기를 발생시키기 위한 히터가 설치된다. 탱크는 케이싱에 의하여 포위되고, 케이싱은 셔터에 의하여 개폐되는 개구부를 3방향으로 가진다. 탱크에는 화재발생을 검지하는 센서와, 탱크내에 CO
2 가스를 방출하기 위한 노즐이 설치된다. 웨이퍼는 복수매가 반송로보트의 척에 유지되고, 케이싱의 외부로부터 개구부를 통하여 케이싱의 내부로 반송된다. 센서에 의하여 화재발생이 검지되면, 바로 척이 케이싱으로부터 퇴피함과 동시에 셔터가 폐쇄된다. 10 추후에 셔터를 폐쇄시키는 신호가 재차 셔터의 구동원에 전달되어 20초 후에 CO
2 가스의 방출이 개시된다.

公开(公告)号：KR1019940020500A

公开(公告)日：1994-09-16

申请号：KR1019940002752

申请日：1994-02-16

Applicant: 도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤 ,  도오교오에레구토론가부시끼가이사

Inventor： 미야자키다카노리 ,  고바야시가즈히코 ,  가미카와유우지 ,  다시마지하야

IPC: H01L21/304

Abstract: 반도체 웨이퍼의 세정처리 시스템에 조립된 웨이퍼의 건조장치는 IPA를 수용하는 탱크를 구비한다. 탱크에는 IPA의 증기를 발생 시키기위한 히터가 설치된다. 탱크는 케이싱에 의하여 포위되고, 케이싱은 셔터에 의하여 개폐되는 개구부를 3방향으로 가진다. 탱크에는 화재발생을 검지하는 센서와, 탱크내에 CO
2 가스를 방출하기 위한 노즐이 설치된다. 웨이퍼는 복수매가 반송로보트의 척에 유지되고, 케이싱의 외부로부터 개구부를 통하여 케이싱의 내부로 반송된다. 센서에 의하여 화재발생이 검지되면, 바로 척이 케이싱으로부터 퇴피함과 동시에 셔터가 폐쇄된다. 10초 후에 셔터를 폐쇄시키는 신호가 재차 셔터의 구동원에 전달되어 20초후에 CO
2 가스의 방출이 개시된다.