公开(公告)号：KR1020010030214A

公开(公告)日：2001-04-16

申请号：KR1020000051475

申请日：2000-09-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야노미쓰테루 ,  셈바노리오 ,  가나가와고조 ,  우에다잇세이 ,  아키모토마사미 ,  오이가즈히코

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67248 ,  G03F7/16 ,  G03F7/30 ,  H01L21/67109 ,  Y10S134/902

Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus is provided to regulate the temperature and humidity of air to be supplied to a coating processing unit and the developing processing unit and to reduce running costs for electric power consumption and the like. CONSTITUTION: Outside air taken in form the outside is cooled to a predetermined temperature by a cooler, and the air cooled by the cooler flows through a low temperature side flow path in a heat exchanger, whereas outside air flows through a high temperature side flow path in the heat exchanger, which allows heat to be exchanged between the cooled air and the outside air. The air, flowing through the low temperature side flow path in the heat exchanger and warmed up by the outside air flowing through the high temperature side flow path, is warmed and humidified by a warmer and a humidifier, and the air with predetermined temperature and humidity is supplied to a coating processing unit. Moreover, the outside air, flowing through the high temperature side flow path in the heat exchanger and cooled by the air flowing through the low temperature side flow path, is warmed by a warmer, and the air with a predetermined temperature is supplied to a developing processing unit.

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置，用于调节供给涂布处理单元和显影处理单元的空气的温度和湿度，并降低电力消耗的运行成本等。 构成：通过冷却器将形成外部的外部空气冷却至规定的温度，由冷却器冷却的空气在热交换器中流过低温侧流路，而外部空气流过高温侧流路 在热交换器中，其允许在冷却的空气和外部空气之间进行热交换。 在热交换器中流过低温侧流路并流过高温侧流路的外部空气加热的空气通过加温器和加湿器进行加热和加湿，并且具有预定温度和湿度的空气 被供给到涂布处理单元。 此外，在热交换器中流过高温侧流路并通过流经低温侧流路的空气进行冷却的外部空气被加热器加热，并且将具有预定温度的空气供给到显影 处理单元。

公开(公告)号：KR100630511B1

公开(公告)日：2006-09-29

申请号：KR1020000051475

申请日：2000-09-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야노미쓰테루 ,  셈바노리오 ,  가나가와고조 ,  우에다잇세이 ,  아키모토마사미 ,  오이가즈히코

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67248 ,  G03F7/16 ,  G03F7/30 ,  H01L21/67109 ,  Y10S134/902

Abstract: 외부로부터 받아들인 외기를 냉각기에서 소정의 온도로 냉각하고, 냉각기에서 냉각된 공기를 열교환기의 저온측 유로에 흐르게 하는 한편, 열교환기의 고온측 유로에 외기를 흐르게 하여, 냉각된 공기와 외기와의 사이에서 열교환이 행하여지도록 한다. 이 열교환기의 저온측 유로를 흐르고, 고온측 유로를 흐르는 외기에 의해 데워진 공기를 가온기 또는 가습기에 의해 가온·가습하여 소정의 온도 및 습도의 공기를 도포처리유니트로 공급한다. 또, 열교환기의 고온측 유로를 흐르고, 저온측 유로를 흐르는 공기에 의해 냉각된 외기를 가온기에 의해 가온하여 소정 온도의 공기를 현상처리유니트에 공급한다. 이에 의해, 도포처리유니트 및 현상처리유니트에 공급하는 공기의 온도라든가 습도를 조정하기 위한 장치의 소형화 및 소비 전력등의 가동 비용의 절감을 꾀할 수 있다.

Abstract translation: 冷却在规定的温度由冷却器从外部接收的空气，和用于通过在热交换器中，冷却空气和外部空气的高温侧流路流动的空气从冷却器冷却的空气流至热交换器的低温侧流路另一方面，和 进行热交换。 中流动的热交换器的低温侧流路，在高温侧及middot由流过流动路径的加热热交换器或加湿器室外空气通过所述加热的空气升温;加湿器在涂布单元提供预定的空气温度和湿度。 此外，它通过加热由流经低温侧流路中的空气和供给预定温度的空气到显影处理单元冷却的空气流在热交换器的高温侧流路，通过加热。 结果，可以降低用于调节供应给涂布处理单元和显影处理单元的空气的温度或湿度的装置的操作成本，例如尺寸减小和功耗。