公开(公告)号：KR1020120079807A

公开(公告)日：2012-07-13

申请号：KR1020110141910

申请日：2011-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시신이치 ,  가나가와코우조우 ,  야마오카테루타카

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/0274 ,  G03F7/70733 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67721

Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus is provided to prevent gas from being stayed in a substrate transfer region by separating a partition plate from a partitioned location in maintenance. CONSTITUTION: A clean gas supply part(42) is formed in order to be communicated with a gas diffusion chamber in a partition plate. A gas supply path supplies gas to the clean gas supply part. A filter(37) is installed in the gas supply path. A plurality of outlets(45) is formed on a lower portion of the partition plate. The plurality of outlets discharges the gas diffused within the gas diffusion chamber to a substrate transfer region.

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置，用于通过在维护中将分隔板与分隔位置分离来防止气体滞留在基板传送区域中。 构成：形成清洁气体供给部（42），以与分隔板中的气体扩散室连通。 气体供给路径向清洁气体供给部供给气体。 过滤器（37）安装在气体供给路径中。 多个出口（45）形成在隔板的下部。 多个出口将在气体扩散室内扩散的气体排出到基板传送区域。

公开(公告)号：KR101877428B1

公开(公告)日：2018-07-11

申请号：KR1020110141910

申请日：2011-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시신이치 ,  가나가와코우조우 ,  야마오카테루타카

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/677

Abstract: 서로구획되고적층된기판반송영역에서기류의체류를방지하고, 또한각 반송영역의메인터넌스작업을용이하게행할수 있는기판처리장치를제공하는것이다. 적층된제 1 기판반송영역및 제 2 기판반송영역을구획하는구획위치에설치되고, 내부에기체확산실을구비하는구획판과, 기판반송영역의폭 방향중앙부로부터주연부에걸친위치에서, 상기구획판에상기기체확산실에연통되는청정기체공급구로기체를공급하는기체공급로와, 상기기체공급로에설치되고, 상기청정기체공급구로공급하는기체를청정화하기위한필터와, 구획판의하면에형성되고, 기체확산실에서확산된기체를기판반송영역으로토출시키기위한다수의토출구를구비하고, 구획판은, 메인터넌스시에제 2 기판반송영역으로부터제 1 기판반송영역을들여다볼수 있는개방상태로하기위하여, 상기구획위치로부터퇴피시킬수 있도록장치를구성한다.