公开(公告)号：KR102111206B1

公开(公告)日：2020-05-14

申请号：KR1020180105155

申请日：2018-09-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케다다로 ,  고마츠도모히토 ,  오사다유키 ,  미야시타히로유키 ,  사이토스스무 ,  후루키가즈히로 ,  사토미키오 ,  가마타에이키

IPC: H01J37/32

公开(公告)号：KR102131539B1

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：KR1020180160468

申请日：2018-12-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케다다로 ,  고마츠도모히토 ,  가마타에이키 ,  사토미키오

IPC: H01J37/32