公开(公告)号：KR100892008B1

公开(公告)日：2009-04-07

申请号：KR1020020053729

申请日：2002-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기타노다카히로 ,  가와후치요시유키 ,  고가노리히사 ,  다케이도시치카

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/6715

Abstract: 기판에 대하여 약액을 공급하고, 해당 약액의 액막을 형성하는 장치에 있어서, 기판표면으로의 파티클 부착을 억제함과 동시에 기판표면에 형성되는 도포막의 제품수율을 향상시키는 것.
좌우방향으로 이동 가능한 노즐부와, 전후방향으로 이동 가능한 기판유지부에 의해 유지되는 기판과의 사이에 슬릿을 가지는 플레이트를 설치하고, 슬릿의 좌우끝단에는 슬릿바깥쪽으로 공급되는 도포액으로부터 미스트가 발생하는 것을 억제하는 충격완화부를 구비함과 동시에, 그 표면에서 받아낸 도포액을 씻어 버리는 것이 가능한 한 쌍의 셔터를 설치한다. 또한 슬릿근방위치에는 상기 노즐부의 이동영역에 대응하는 범위에 걸쳐 흡인구가 설치되어 있고, 노즐부의 스캔도포시에 생기는 미스트를 흡인하도록 구성된다. 또한 플레이트에는 하강류를 슬릿바깥쪽으로 분산시키기 위한 슬릿이 형성된다.

公开(公告)号：KR1020030023498A

公开(公告)日：2003-03-19

申请号：KR1020020053729

申请日：2002-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기타노다카히로 ,  가와후치요시유키 ,  고가노리히사 ,  다케이도시치카

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/6715

Abstract: PURPOSE: To prevent the adhesion of particles to the surface of a substrate and to enhance the yield of a coating film formed on the surface of the substrate in an apparatus for supplying a chemical liquid to the substrate to form the liquid film of the chemical liquid. CONSTITUTION: A plate having a slit is provided between a nozzle part movable in a left and right direction and the substrate held by a substrate holding part movable in a forward and rearward direction and impact relaxing parts for suppressing the generation of mist from a coating liquid supplied to the outside of the slit are provided to the left and right ends of the slit and a pair of shutters capable of washing off the coating liquid received by the surface thereof are provided. A suction port is provided at the position in the vicinity of the slit over the range corresponding to the moving region of the nozzle part to suck mist generated at the time of scanning coating of the nozzle part. Further, a slit for dispersing a falling flow to the outside of the slit is provided to the plate.

Abstract translation: 目的：为了防止颗粒附着在基材表面，并提高在基材表面上形成的涂膜的产率，在用于向基材供给化学液体的装置中形成药液的液膜 。 构成：具有狭缝的板设置在可沿左右方向移动的喷嘴部分和由可沿前后方向移动的基板保持部保持的基板之间，并且用于抑制从涂布液产生雾的缓冲部件 提供给缝隙的外侧的狭缝设置在缝隙的左端和右端，并且提供能够洗涤其表面所接收的涂布液的一对百叶窗。 在与喷嘴部的移动区域对应的范围内的狭缝附近的位置处设置吸入口，以吸收在喷嘴部的扫描涂布时产生的雾。 此外，在板上设置用于将下落流分散到狭缝外侧的狭缝。