公开(公告)号：KR1020150111872A

公开(公告)日：2015-10-06

申请号：KR1020150041436

申请日：2015-03-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미야자키가즈히토 ,  가키노아키라

IPC: H01L51/56 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677

CPC classification number: G06T7/73 ,  G01B11/0616 ,  G05B19/402 ,  G05B2219/37572 ,  G05B2219/45013 ,  G06T2207/30164

Abstract: 본발명은, 기판상에형성된뱅크내에도포재를정밀도좋게도포하는것을목적으로한다. 제1 촬상부는, 스테이지상에배치된기판을촬상한다. 제2 촬상부는, 제1 촬상부보다좁은화각및 높은분해능으로, 스테이지상에배치된기판을촬상한다. 제어부는, 기판상에형성된원형의프리얼라인먼트마크를제1 촬상부를이용하여촬상하고, 촬상된화상에기초하여이동기구및 회전기구를제어하여기판의위치맞춤을행하는프리얼라인먼트처리와, 프리얼라인먼트처리후, 기판상에형성된원형의파인얼라인먼트마크를제2 촬상부를이용하여촬상하고, 촬상된화상에기초하여이동기구및 회전기구를제어하여기판의위치맞춤을행하는파인얼라인먼트처리를실행한다.

Abstract translation: 本发明是将涂料精确地涂布到形成在基板上的堤的内部。 涂覆装置包括拍摄设置在台架上的基板的第一摄影单元; 第二摄影单元，以比第一拍摄单元更窄的视角和更高的分辨率拍摄设置在舞台上的衬底; 以及控制单元，其通过使用所述第一摄影者单元进行预处理处理以拍摄形成在所述基板上的圆形预对准标记，并且通过控制基于所述基板的移动机构和旋转机构来对所述基板进行位置拟合操作 在所拍摄的图像上，并且进行精细取向处理以在预对准处理之后通过使用第二摄影者单元拍摄在基板上形成的圆形微细对准标记，并且通过控制对基板进行位置拟合操作 移动机构和基于拍摄图像的旋转机构。