公开(公告)号：KR101775821B1

公开(公告)日：2017-09-06

申请号：KR1020160030885

申请日：2016-03-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고모리에이치 ,  야기히로노리

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/14 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/45561

Abstract: [과제] 고체원료를승화한원료를캐리어가스와함께소비구역에공급하는것에즈음해, 원료의승화유량을안정시키는것. [해결수단] 원료용기(3A, 3B)에서고체원료를승화시킴과동시에, 원료용기(3A, 3B)에캐리어가스도입로(411, 412)로부터캐리어가스를토출하고, 승화한원료를캐리어가스와함께원료가스유로(421, 422)에서성막처리부(11)에송출한다. 원료가스유로(421, 422)에있어서의가스유량으로부터캐리어가스도입로(411, 412)에있어서의가스유량을공제한가스유량의변동률 P가 10% 이하가되도록, 캐리어가스의유량을설정한다. 이캐리어가스의유량은, 승화한원료에는캐리어가스가도달하지만, 고체원료의표면에는거의도달하지않는유량이므로, 고체원료의잔량의변화에대한원료의승화유량이안정되어, 성막처리부(11)에서는안정된막 질의박막을성막할수 있다.

Abstract translation: [问题]为了稳定提供将固体原料与载气一起升华到消耗区域的原料中的原料的升华流速。 在原料容器（3A，3B）中使固体物质升华，从载气导入通路（411,412）将载气排出到原料容器（3A，3B） 原料气体流路421,422中的成膜部11。 原料气体流路（421,422）在负在载体中的气体流与来自气体的在P的流量的气体入口（411，412）的气体流率是这样一种程度的可变性，超过10％，并且将载气的流率 。 载气，升华原料的流量，载体气体达到，但是，由于流率几乎没有达到固体原料的表面上，作为原料的在固体材料保持稳定，成膜处理单元11的变化的升华速率 可以形成稳定的薄膜状薄膜。

公开(公告)号：KR1020160111861A

公开(公告)日：2016-09-27

申请号：KR1020160030885

申请日：2016-03-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고모리에이치 ,  야기히로노리

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/14 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/45561

Abstract: [과제] 고체원료를승화한원료를캐리어가스와함께소비구역에공급하는것에즈음해, 원료의승화유량을안정시키는것. [해결수단] 원료용기(3A, 3B)에서고체원료를승화시킴과동시에, 원료용기(3A, 3B)에캐리어가스도입로(411, 412)로부터캐리어가스를토출하고, 승화한원료를캐리어가스와함께원료가스유로(421, 422)에서성막처리부(11)에송출한다. 원료가스유로(421, 422)에있어서의가스유량으로부터캐리어가스도입로(411, 412)에있어서의가스유량을공제한가스유량의변동률 P가 10% 이하가되도록, 캐리어가스의유량을설정한다. 이캐리어가스의유량은, 승화한원료에는캐리어가스가도달하지만, 고체원료의표면에는거의도달하지않는유량이므로, 고체원료의잔량의변화에대한원료의승화유량이안정되어, 성막처리부(11)에서는안정된막 질의박막을성막할수 있다.

Abstract translation: 本发明通过将固体原料升华得到的原料与载气一起提供给消耗区域来稳定原料的蒸发流量。 在固体原料在原料容器（3A，3B）中升华的同时，载气从载气注入路径（411,412）排出到原料容器（3A，3B）。 具有载气的升华原料从原料气体流路（421,422）输送到成膜处理单元（11）。 流量被设定为使P为通过从原料气体流动通道（411,412）中的气体流量减去载气注入路径（411,412）中的气体流量而获得的气体流量的波动率 421，422），10％以下。 载气的流动到达升华的原料，但很少到达固体原料的表面。 因此，相对于固体原料的剩余量的变化，原料的升华流动体积稳定，因此能够通过成膜处理单元（11）形成质量稳定的薄膜。