公开(公告)号：KR1020110099631A

公开(公告)日：2011-09-08

申请号：KR1020110012713

申请日：2011-02-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도키유이치 ,  고쇼마사타카 ,  후루쇼토시노부

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/0274 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/2043 ,  H01L22/30

Abstract: 기판으로 약액을 공급하여 액처리를 행하는 액처리 장치에서 약액의 공급 상태를 확실하게 판정할 수 있는 기술을 제공한다. 기판 보지부에 보지된 기판으로 펌프로부터 배관 및 노즐을 거쳐 약액을 공급하여 액처리를 행하는 장치에 있어서, 상기 배관에서부터 노즐의 선단부에 이르기까지의 유로 구성 부재에 변형 게이지가 설치된 변형 센서와, 이 변형 센서의 출력 전압을 미분하는 미분 회로와, 이 미분 회로의 출력에 따라 약액의 공급 상태를 판정하는 판정부를 구비하도록 장치를 구성한다. 광학적인 검출을 행하는 경우보다 기판의 표면 상태 또는 약액의 성질에 따른 영향이 억제되므로, 정밀한 판정을 행할 수 있다.

公开(公告)号：KR101774373B1

公开(公告)日：2017-09-04

申请号：KR1020110012713

申请日：2011-02-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도키유이치 ,  고쇼마사타카 ,  후루쇼토시노부

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/66

Abstract: 기판으로약액을공급하여액처리를행하는액처리장치에서약액의공급상태를확실하게판정할수 있는기술을제공한다. 기판보지부에보지된기판으로펌프로부터배관및 노즐을거쳐약액을공급하여액처리를행하는장치에있어서, 상기배관에서부터노즐의선단부에이르기까지의유로구성부재에변형게이지가설치된변형센서와, 이변형센서의출력전압을미분하는미분회로와, 이미분회로의출력에따라약액의공급상태를판정하는판정부를구비하도록장치를구성한다. 광학적인검출을행하는경우보다기판의표면상태또는약액의성질에따른영향이억제되므로, 정밀한판정을행할수 있다.

Abstract translation: 提供一种能够可靠地确定通过向基板供给药液来进行液体处理的液体处理装置中的药液的供给状态的技术。 用于通过从所述泵到看到的部分看到的基底板的管道和喷嘴供给药液进行液处理的流路形成部件的装置，和kkajiui下降到从管安装应变计的喷嘴，变形传感器，其突变体的远端 和用于区分所述传感器的输出电压，从而使已经包括用于确定根据一个分支的输出端的化学液体的供给的确定条件的差分电路构成的单元。 当执行的所以比抑制的表面状态或在基板的药物溶液的性能的影响可以进行精确的测定光学检测。