公开(公告)号：KR101172931B1

公开(公告)日：2012-08-10

申请号：KR1020077014437

申请日：2005-10-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 수주키켄지 ,  기도티엠마누엘 ,  레우신크게리트제이 ,  하라마사미치 ,  쿠로이와다이수케

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/00

CPC classification number: C23C16/16 ,  C23C16/4481

Abstract: 고 전도성을 가지며, 고전도 증기 이송 시스템에 연결되는 멀티 트레이 고상 전구체 증발 시스템(50, 150, 300, 300')에 이용하기 위한 교체 가능한 전구체 트레이가 고상 전구체의 노출 면적을 증가시킴으로써 증착률을 증가시키는 것에 대해 기술되어 있다. 멀티 트레이 고상 전구체 증발 시스템(50, 150, 300, 300')은 박막 증착 시스템(1, 100)의 처리 챔버(10, 110)에 연결되도록 형성되고, 하나 이상의 적층 가능한 상부 트레이(340)와 함께 기반 트레이(330)를 포함한다. 각각의 트레이(330, 340)는 예컨대, 고상 파우더 형태 또는 고상 타블렛 형태의 막 전구체(350)를 지지하고 유지하도록 형성된다. 또한, 각 트레이(330, 340)는 막 전구체(350)가 가열되는 동안 막 전구체(350) 상에 캐리어 가스의 고전도 유동을 제공하도록 형성된다. 예컨대, 캐리어 가스는 내부로 유입되어, 막 전구체(350)의 위를 거쳐, 적층 가능한 트레이(370, 370') 내의 유동 채널(318)을 통해 수직 상방으로 흘러, 고상 전구체 증발 시스템(50, 150, 300, 300')의 출구를 통해 흐른다.

公开(公告)号：KR1020070095914A

公开(公告)日：2007-10-01

申请号：KR1020077014437

申请日：2005-10-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 수주키켄지 ,  기도티엠마누엘 ,  레우신크게리트제이 ,  하라마사미치 ,  쿠로이와다이수케

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/00

CPC classification number: C23C16/16 ,  C23C16/4481

Abstract: A replaceable precursor tray for use with a high conductance, multi-tray solid precursor evaporation system (50, 150, 300, 300') coupled with a high conductance vapor delivery system is described for increasing deposition rate by increasing exposed surface area of solid precursor. The multi-tray solid precursor evaporation system (50, 150, 300, 300') is configured to be coupled to the process chamber (10, 110) of a thin film deposition system (1, 100), and it includes a base tray (330) with one or more stackable upper trays (340). Each tray (330, 340) is configured to support and retain film precursor (350) in, for example, solid powder form or solid tablet form. Additionally, each tray (330, 340) is configured to provide for a high conductance flow of carrier gas over the film precursor (350) while the film precursor (350) is heated. For example, the carrier gas flows inward over the film precursor (350), and vertically upward through a flow channel (318) within the stackable trays (370, 370') and through an outlet (322) in the solid precursor evaporation system (50, 150, 300, 300').

Abstract translation: 用于与高电导，多托盘固体前体蒸发系统（50,150,300,300'）结合高电导蒸气输送系统使用的可替换的前体托盘被描述为通过增加固体前体的暴露表面积来提高沉积速率 。 多托盘固体前体蒸发系统（50,150,300,300'）被配置为耦合到薄膜沉积系统（1,100）的处理室（10,110），并且其包括底盘 （330）具有一个或多个可堆叠的上托盘（340）。 每个托盘（330,340）被配置为以例如固体粉末形式或固体片剂形式支撑并保持膜前体（350）。 另外，每个托盘（330,340）构造成在膜前体（350）被加热的同时提供载气在膜前体（350）上的高电导流。 例如，载气在膜前体（350）内向内流动，并且垂直向上流过可堆叠托盘（370,370'）内的流动通道（318）并且通过固体前体蒸发系统中的出口（322） 50,150,300,300'）。