公开(公告)号：KR200485625Y1

公开(公告)日：2018-02-01

申请号：KR2020130010095

申请日：2013-12-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모토이고우지 ,  마츠시타미치아키 ,  이이다나루아키 ,  에노키다스구루 ,  도요다야스노리 ,  기야마히데카즈

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/00

Abstract: 본발명은기판유지아암에부착되는기판유지부재의교환에요하는시간의단축, 작업자간차이의시정및 교환에요하는비용을억제할수 있는기판유지부재를제공하는것을목적으로한다. 기판유지아암(11)의일부를구성하는프레임부(100)에부착되는기판유지부재(12)는, 프레임부에부착되는토대부(20)와, 토대부(20) 상에부착되는가이드부(30)를구비하고, 토대부(20)와가이드부(30)는서로감합하는토대부와가이드부에형성된위치결정오목부(22)와위치결정볼록부(32)를통해착탈가능하게연결된다.

Abstract translation: 发明内容本发明的目的在于提供一种基板保持部件，该基板保持部件能够缩短更换安装在基板保持臂上的基板保持部件所需的时间，并且能够修正并替换作业人员之间的差异。 附接到构成基板保持臂11的一部分的框架部分100的基板保持构件12包括附接到框架部分的带齿部分20和引导部分 脚趾部分20和引导部分30通过形成在引导部分中的定位凹槽22和定位凸部32可拆卸地连接 。

公开(公告)号：KR2020140003992U

公开(公告)日：2014-06-30

申请号：KR2020130010095

申请日：2013-12-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모토이고우지 ,  마츠시타미치아키 ,  이이다나루아키 ,  에노키다스구루 ,  도요다야스노리 ,  기야마히데카즈

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/00

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J15/0019

Abstract: 본 발명은 기판 유지 아암에 부착되는 기판 유지 부재의 교환에 요하는 시간의 단축, 작업자간 차이의 시정 및 교환에 요하는 비용을 억제할 수 있는 기판 유지 부재를 제공하는 것을 목적으로 한다.
기판 유지 아암(11)의 일부를 구성하는 프레임부(100)에 부착되는 기판 유지 부재(12)는, 프레임부에 부착되는 토대부(20)와, 토대부(20) 상에 부착되는 가이드부(30)를 구비하고, 토대부(20)와 가이드부(30)는 서로 감합하는 토대부와 가이드부에 형성된 위치 결정 오목부(22)와 위치 결정 볼록부(32)를 통해 착탈 가능하게 연결된다.