公开(公告)号：KR101182502B1

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：KR1020107022704

申请日：2009-09-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 치노다카시 ,  고미사토시 ,  미야시타고이치 ,  나가사와미노루 ,  에다요시에

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/67259 ,  C23C16/4583 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52

Abstract: 기판(W)의 이상 배치 상태의 검지 방법은, 히터(6a, 6b)가 마련된 기판 배치대(3)에 배치된 기판(W)을 가열하면서 처리를 행할 때에, 상기 기판(W)의 배치 상태의 이상을 검지하기 위한 것이다. 상기 기판(W)의 이상 배치 상태의 검지 방법은, 1장의 기판(W)을 처리하는 동안에, 상기 히터(6a, 6b)에의 전기적 출력의 정보 또는 상기 기판 배치대(3)의 계측 온도의 정보에 기초하여, 상기 전기적 출력 또는 상기 계측 온도의 최대값 및 최소값, 또는, 상기 전기적 출력 또는 상기 계측 온도의 적산값을 검출하는 공정과, 검출된 상기 최대값 및 상기 최소값, 또는, 상기 적산값에 기초하여 상기 기판의 이상 배치 상태를 판정하는 공정을 포함하고 있다.

公开(公告)号：KR1020110038607A

公开(公告)日：2011-04-14

申请号：KR1020107022704

申请日：2009-09-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 치노다카시 ,  고미사토시 ,  미야시타고이치 ,  나가사와미노루 ,  에다요시에

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/67259 ,  C23C16/4583 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52

Abstract: 기판(W)의 이상 배치 상태의 검지 방법은, 히터(6a, 6b)가 마련된 기판 배치대(3)에 배치된 기판(W)을 가열하면서 처리를 행할 때에, 상기 기판(W)의 배치 상태의 이상을 검지하기 위한 것이다. 상기 기판(W)의 이상 배치 상태의 검지 방법은, 1장의 기판(W)을 처리하는 동안에, 상기 히터(6a, 6b)에의 전기적 출력의 정보 또는 상기 기판 배치대(3)의 계측 온도의 정보에 기초하여, 상기 전기적 출력 또는 상기 계측 온도의 최대값 및 최소값, 또는, 상기 전기적 출력 또는 상기 계측 온도의 적산값을 검출하는 공정과, 검출된 상기 최대값 및 상기 최소값, 또는, 상기 적산값에 기초하여 상기 기판의 이상 배치 상태를 판정하는 공정을 포함하고 있다.