Patent search ap:("도쿄엘렉트론가부시키가이샤") AND inv:"나가요시게이" Page 1

1.

发明授权
플라즈마 처리 장치 有权

公开(公告)号：KR102044097B1

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：KR1020180055158

申请日：2018-05-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케다다로 , 고마츠도모히토 , 나카고미쥰 , 나가요시게이

IPC: H01J37/32

Patent Agency Ranking