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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110041499A
公开(公告)日：2011-04-21
申请号：KR1020117002502
申请日：2009-07-13
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 고온의 감압 처리를 위해 구성된 정전식 척에 대해 기술한다. 이 정전식 척은 정전식 클램프 전극과 선택적 가열 소자를 구비하는 척 본체와, 그 척 본체의 내부면과 근접 관계로 이격된 열 전달면을 구비하는 히트 싱크 본체를 포함하고, 이 히트 싱크 본체는 내부면과 열 전달면의 근접 관계에 의해 척 본체로부터 열을 제거하도록 구성된다. 정전식 척은 척 본체와 히트 싱크 본체를 지지하도록 구성되는 테이블 어셈블리와, 척 본체와 테이블 어셈블리 사이에 배치되며 척 본체와 테이블 어셈블리의 열팽창차에 적응하면서 척 본체를 테이블 어셈블리에 밀봉 접합하도록 구성되는 신축 조인트를 더 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160110495A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：KR1020167022589
申请日：2015-02-04
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 나스만로날드
IPC: H01L21/02 , H01L21/205 , C23C16/448 , C23C16/52
CPC classification number: C23C16/4483 , C23C16/52 , H01L21/0228 , H01L21/205
Abstract: 기판프로세싱시스템으로의기체상전구체의도입을위한기화기가제공되며, 기화기는: 기화기유입구, 기화기유출구, 및컨테이너벽을갖는기화기챔버; 및증기가적어도하나의다공성폼 부재(porous foam member)를통해흐르도록, 상기기화기유입구와상기기화기유출구사이에상기기화기챔버내에배열되는상기적어도하나의다공성폼 부재를포함하며, 상기컨테이너벽은상기기화기유입구와상기기화기유출구사이에연장되어그들사이에기화체적을정의하며, 상기컨테이너벽은상기기화기챔버의측방치수를정의하고, 상기적어도하나의다공성폼 부재는상기컨테이너벽과물리적으로접촉하여열적으로소통하며, 상기적어도하나의다공성폼 부재는상기측방치수의적어도 10%인두께를갖는다. 기화기챔버는기화기노즐및 약 30-40도의반각을갖는발산하는단면적에의해특징화되는입구챔버부분을포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140043781A
公开(公告)日：2014-04-10
申请号：KR1020147000708
申请日：2012-06-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45563 , C23C16/45568
Abstract: 본원 발명에는 기상 증착 시스템과, 이 기상 증착 시스템에 사용하는 가스 디퓨저 어셈블리가 기재되어 있다. 상기 가스 디퓨저 어셈블리는 가스 디퓨저 매니폴드를 포함하며, 이 가스 디퓨저 매니폴드는, 기판 처리 시스템에 연결되도록 구성되어 있고, 프로세스 가스를 가스 출구로부터 기판의 표면에 실질적으로 수직한 방향으로 기판 처리 시스템 내에 도입하여 기판의 표면 상에 정체 유동 패턴을 생성하도록 배치되어 있는 것이다. 가스 디퓨저 매니폴드는 가스 입구, 정체판 및 확산 부재를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101882599B1
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：KR1020167022589
申请日：2015-02-04
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 나스만로날드
IPC: H01L21/02 , H01L21/205 , C23C16/448 , C23C16/52
CPC classification number: C23C16/4483 , C23C16/52
Abstract: 기판프로세싱시스템으로의기체상전구체의도입을위한기화기가제공되며, 기화기는: 기화기유입구, 기화기유출구, 및컨테이너벽을갖는기화기챔버; 및증기가적어도하나의다공성폼 부재(porous foam member)를통해흐르도록, 상기기화기유입구와상기기화기유출구사이에상기기화기챔버내에배열되는상기적어도하나의다공성폼 부재를포함하며, 상기컨테이너벽은상기기화기유입구와상기기화기유출구사이에연장되어그들사이에기화체적을정의하며, 상기컨테이너벽은상기기화기챔버의측방치수를정의하고, 상기적어도하나의다공성폼 부재는상기컨테이너벽과물리적으로접촉하여열적으로소통하며, 상기적어도하나의다공성폼 부재는상기측방치수의적어도 10%인두께를갖는다. 기화기챔버는기화기노즐및 약 30-40도의반각을갖는발산하는단면적에의해특징화되는입구챔버부분을포함한다.
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公开(公告)号：KR101668498B1
公开(公告)日：2016-10-21
申请号：KR1020117002502
申请日：2009-07-13
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H02N13/00
Abstract: 고온의감압처리를위해구성된정전식척에대해기술한다. 이정전식척은정전식클램프전극과선택적가열소자를구비하는척 본체와, 그척 본체의내부면과근접관계로이격된열 전달면을구비하는히트싱크본체를포함하고, 이히트싱크본체는내부면과열 전달면의근접관계에의해척 본체로부터열을제거하도록구성된다. 정전식척은척 본체와히트싱크본체를지지하도록구성되는테이블어셈블리와, 척본체와테이블어셈블리사이에배치되며척 본체와테이블어셈블리의열팽창차에적응하면서척 본체를테이블어셈블리에밀봉접합하도록구성되는신축조인트를더 포함한다.
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