公开(公告)号：KR1020120042627A

公开(公告)日：2012-05-03

申请号：KR1020110079553

申请日：2011-08-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사이토타카노리 ,  나카지마마코토

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/22

CPC classification number: H01L21/67109 ,  C23C16/46 ,  C30B25/08 ,  C30B25/10 ,  C30B29/06 ,  C30B33/02 ,  C30B35/002

Abstract: PURPOSE: A heating treatment apparatus improves buckling strength of an outer shell by installing a reinforcing rib on the outer shell of an evacuated thermal insulation layer formation part. CONSTITUTION: A cylindrical reaction tube(3) comprises a flange on a lower end apt. A boat is stored inside of the reaction rube by mounting a wafer. A heater(2) heats inside of the reaction tube. An evacuated thermal insulation layer formation part comprises an inner shell(11) and an outer shell(12) which forms an evacuated thermal insulation layer(10a) between the inner cell and the evacuated thermal insulation layer. The inner shell and the outer shell respectively include a cylindrical body and a ceiling plate which covers the upper part of the cylindrical body.

Abstract translation: 目的：加热处理装置通过在真空绝热层形成部分的外壳上安装加强筋来提高外壳的弯曲强度。 构成：圆柱形反应管（3）包括下端的凸缘。 通过安装晶片将船存储在反应槽内。 加热器（2）在反应管内加热。 真空绝热层形成部分包括内壳（11）和外壳（12），其在内电池和抽空的绝热层之间形成抽真空的绝热层（10a）。 内壳和外壳分别包括圆筒体和覆盖圆柱体上部的顶板。

公开(公告)号：KR101435547B1

公开(公告)日：2014-08-29

申请号：KR1020110079553

申请日：2011-08-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사이토타카노리 ,  나카지마마코토

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/22

CPC classification number: H01L21/67109 ,  C23C16/46 ,  C30B25/08 ,  C30B25/10 ,  C30B29/06 ,  C30B33/02 ,  C30B35/002

Abstract: (과제) 진공 단열층 형성체의 외측 셸의 좌굴 강도를 향상시킨 열처리 장치를 제공한다.
(해결 수단) 열처리 장치(1)는 통 형상의 반응관(3)과, 웨이퍼(W)를 장전하여 보지하는 보트(5)와, 반응관(3)의 외주에 설치된 히터(2)와, 히터(2)의 외주에 형성된 진공 단열층 형성체(10)를 구비하고 있다. 진공 단열층 형성체(10)는, 내측 셸(11)과, 내측 셸(11)과의 사이에서 진공 단열층(10a)을 형성하는 외측 셸(12)을 갖고 있다. 외측 셸(12)은 박판으로 이루어지며, 소성 가공이 행해져 그의 단면이 파상으로 되어 있다.