公开(公告)号：KR1020170043452A

公开(公告)日：2017-04-21

申请号：KR1020160129703

申请日：2016-10-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카시마츠네나가 ,  다가키신스케 ,  기무라유지

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67

Abstract: 본발명은기판처리시스템에처리액을공급하는데 있어서, 처리액용기의교환작업을간이화하는것을과제로한다. 처리액을이용하여기판의액 처리를행하는액 처리부를구비한복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)에대하여, 용기내에저류된처리액을, 기판처리시스템(PR1∼PR4)의외부로부터공급하는처리액공급장치(1)로서, 처리액이저류되어있는새로운용기(2)의반입과, 사용이끝난용기(3)의반출을행하는반입반출부(10)와, 격벽(21) 내에배치된용기(2)와, 복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)을접속하는처리액유로(12)와, 격벽(21) 내에배치된용기(2) 내의처리액을, 처리액유로(12)를통해복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)에대하여압송하는처리액공급부(11)와, 격벽(21) 내의사용이끝난용기(3)와, 반입반출부(10) 상의새로운용기(2)를자동교환하는용기교환기구를갖는다.

Abstract translation: 本发明克服了在向基板处理系统供给处理液时简化处理液容器的更换作业的问题。 储存在容器中的处理液被提供给设置有液体处理单元的多个基板处理系统PR1至PR4，用于利用处理液从基板处理系统PR1至PR4的外部进行液体处理 处理液供给装置1具有搬入搬出处理液的新容器2和搬出使用后的容器3的搬入搬出部10， 用于将容器2连接到多个基板处理系统PR1到PR4的处理液流路12以及设置在分隔壁21中的容器2中的处理液连接到处理液流路12 在分隔件21中的使用过的容器3和在运入/运出部分10上的新容器2， 并有一个自动交换的容器更换机制。

公开(公告)号：KR1020170043451A

公开(公告)日：2017-04-21

申请号：KR1020160129692

申请日：2016-10-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카시마츠네나가 ,  다가키신스케 ,  기무라유지

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

Abstract: 본발명은복수의기판처리시스템에대하여마련된공통의장치로부터일괄적으로처리액을공급하는데 있어서, 배관길이가길어져도, 배관길이가길기때문에생기는문제점을저감하는것을과제로한다. 처리액을이용하여기판의액 처리를행하는액 처리부를구비한복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)에대하여, 복수종의처리액을, 기판처리시스템(PR1∼PR4)의외부로부터공급하는처리액공급장치(1)는, 처리액이저류되어있는용기(2, 3)를배치하는복수의반입반출부(10)와, 반입반출부(10)에배치된용기(2)와, 복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)을접속하는처리액유로(12)와, 용기(2) 내의처리액을, 처리액유로(12)를통해복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)에대하여압송하는처리액공급부(11)와, 기판처리시스템에접속하는복수의처리액유로(12)를, 각기판처리시스템(PR1∼PR4)마다일괄적으로위요하는복수의배관덕트(D)를갖는다.

Abstract translation: 发明内容本发明克服了即使当从为多个基板处理系统提供的普通装置共同供应处理液时管长度较长时，也能够减少由长管道长度引起的问题的问题。 将多种处理液供给至包括液体处理部的多个基板处理系统PR1至PR4，以通过使用来自基板处理系统PR1至PR4外部的处理液来执行基板的液体处理 液体供应装置1包括多个装载和卸载部分10，用于放置容纳处理液体的容器2和3，设置在装载和卸载部分10中的容器2， 连接基板处理系统PR1〜PR4和容器2内的处理液的处理液流路12通过处理液流路12被供给到多个基板处理系统PR1〜PR4 处理液供应单元11和多个管道管道D，所述多个管道管道D共同包围连接到用于基板处理系统PR1至PR4中的每一个的基板处理系统的多个处理液体流路12。