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公开(公告)号：KR1020170043451A
公开(公告)日：2017-04-21
申请号：KR1020160129692
申请日：2016-10-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 본발명은복수의기판처리시스템에대하여마련된공통의장치로부터일괄적으로처리액을공급하는데 있어서, 배관길이가길어져도, 배관길이가길기때문에생기는문제점을저감하는것을과제로한다. 처리액을이용하여기판의액 처리를행하는액 처리부를구비한복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)에대하여, 복수종의처리액을, 기판처리시스템(PR1∼PR4)의외부로부터공급하는처리액공급장치(1)는, 처리액이저류되어있는용기(2, 3)를배치하는복수의반입반출부(10)와, 반입반출부(10)에배치된용기(2)와, 복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)을접속하는처리액유로(12)와, 용기(2) 내의처리액을, 처리액유로(12)를통해복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)에대하여압송하는처리액공급부(11)와, 기판처리시스템에접속하는복수의처리액유로(12)를, 각기판처리시스템(PR1∼PR4)마다일괄적으로위요하는복수의배관덕트(D)를갖는다.
Abstract translation: 发明内容本发明克服了即使当从为多个基板处理系统提供的普通装置共同供应处理液时管长度较长时，也能够减少由长管道长度引起的问题的问题。 将多种处理液供给至包括液体处理部的多个基板处理系统PR1至PR4，以通过使用来自基板处理系统PR1至PR4外部的处理液来执行基板的液体处理 液体供应装置1包括多个装载和卸载部分10，用于放置容纳处理液体的容器2和3，设置在装载和卸载部分10中的容器2， 连接基板处理系统PR1〜PR4和容器2内的处理液的处理液流路12通过处理液流路12被供给到多个基板处理系统PR1〜PR4 处理液供应单元11和多个管道管道D，所述多个管道管道D共同包围连接到用于基板处理系统PR1至PR4中的每一个的基板处理系统的多个处理液体流路12。
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公开(公告)号：KR102245902B1
公开(公告)日：2021-04-29
申请号：KR1020140134746
申请日：2014-10-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 나카시마츠네나가
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/677
Abstract: 청정한분위기하에서약액용기의교환을하는것이가능한약액용기교환장치등을제공한다. 사람손을거치지않고약액용기의교환을하는것이가능한기판처리장치를제공한다. 약액용기(50)의교환을행하는약액용기교환장치(D2)에서, 용기배치부(60)에는약액의공급을행하는약액공급로의기단측이장착된복수의약액용기(50)가배치되고, 노즐착탈기구(61)는용기배치부(60)의약액용기(50)에대하여약액공급로의기단측의착탈조작을실행한다. 반입출포트(62)에서는, 기판(W)에대하여액처리를행하기위한새로운약액용기(50)의반입과, 사용완료된약액용기(50)의반출이행해지고, 용기반송기구(7)는, 용기배치부(60)로부터반입출포트(62)로의사용완료된약액용기(50)의반송과, 반입출포트(62)로부터용기배치부(62)로의새로운약액용기(50)의반송을실행한다.
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公开(公告)号：KR1020150041587A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：KR1020140134746
申请日：2014-10-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 나카시마츠네나가
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/677
CPC classification number: G03F7/30 , G03F7/162 , G03F7/3021 , H01L21/0272
Abstract: 청정한분위기하에서약액용기의교환을하는것이가능한약액용기교환장치등을제공한다. 사람손을거치지않고약액용기의교환을하는것이가능한기판처리장치를제공한다. 약액용기(50)의교환을행하는약액용기교환장치(D2)에서, 용기배치부(60)에는약액의공급을행하는약액공급로의기단측이장착된복수의약액용기(50)가배치되고, 노즐착탈기구(61)는용기배치부(60)의약액용기(50)에대하여약액공급로의기단측의착탈조작을실행한다. 반입출포트(62)에서는, 기판(W)에대하여액처리를행하기위한새로운약액용기(50)의반입과, 사용완료된약액용기(50)의반출이행해지고, 용기반송기구(7)는, 용기배치부(60)로부터반입출포트(62)로의사용완료된약액용기(50)의반송과, 반입출포트(62)로부터용기배치부(62)로의새로운약액용기(50)의반송을실행한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种药液容器更换装置，其允许在清洁环境中更换不需要人手的基材处理装置的容器。 在用于更换药液容器（50）的化学液容器更换装置（D2）中，多个化学液容器（50）布置在基板上，喷嘴安装/拆卸装置（61） 在位于容器壳体中的容器（50）上的基板上进行操作。 在出口/进口（62）中，进口一个新的容器，以在基材（W）上进行液体处理，然后出口一个化学液体容器（50）。 容器运送装置（7）执行取出用过的化学液容器（50）并将新的化学液容器（50）从出口/进口（62）吸入容器排出口（60）。
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公开(公告)号：KR100776890B1
公开(公告)日：2007-11-19
申请号：KR1020060012371
申请日：2006-02-09
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L21/67178 , H01L21/67017 , H01L21/67173 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/67754 , Y10S414/135
Abstract: 반송 기구에 의한 파티클의 비산이 억제되는 반도체 제조 장치를 제공한다.
반도체 제조 장치는, 횡방향으로 긴 반송용 통로를 따라 이동부가 이동하는 반송 기구와, 상기 반송용 통로를 따라 배치되어 반송 기구의 사이에서 기판의 전달이 실행됨과 함께 기판에 대하여 처리를 실행하는 복수의 처리 유닛과, 처리 유닛의 하부에 마련되어 반송용 통로측에 배기용의 개구부를 가지는 배기실과, 배기실에 접속되는 흡인 배기로와, 상기 배기실내 또는 상기 개구부에 임하는 위치에서, 반송용 통로를 따라 길게 마련되어, 상기 이동부를 가이드하는 가이드 부재를 구비하도록 반도체 제조 장치를 구성한다. 해당 배기실내를 흡인 배기함으로써 반송용 통로로부터 배기실로 향하는 흡인 기류가 발생하기 때문에, 가이드 부재를 이동부가 이동하여 파티클이 발생한 경우라도, 해당 파티클은 기류를 타고 배기실내로 유입하여 반송용 통로로부터 제거되기 때문에 파티클의 비산을 저감할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020060092061A
公开(公告)日：2006-08-22
申请号：KR1020060012371
申请日：2006-02-09
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L21/67178 , H01L21/67017 , H01L21/67173 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/67754 , Y10S414/135
Abstract: 반송 기구에 의한 파티클의 비산이 억제되는 반도체 제조 장치를 제공한다.
반도체 제조 장치는, 횡방향으로 긴 반송용 통로를 따라 이동부가 이동하는 반송 기구와, 상기 반송용 통로를 따라 배치되어 반송 기구의 사이에서 기판의 전달이 실행됨과 함께 기판에 대하여 처리를 실행하는 복수의 처리 유닛과, 처리 유닛의 하부에 마련되어 반송용 통로측에 배기용의 개구부를 가지는 배기실과, 배기실에 접속되는 흡인 배기로와, 상기 배기실내 또는 상기 개구부에 임하는 위치에서, 반송용 통로를 따라 길게 마련되어, 상기 이동부를 가이드하는 가이드 부재를 구비하도록 반도체 제조 장치를 구성한다. 해당 배기실내를 흡인 배기함으로써 반송용 통로로부터 배기실로 향하는 흡인 기류가 발생하기 때문에, 가이드 부재를 이동부가 이동하여 파티클이 발생한 경우라도, 해당 파티클은 기류를 타고 배기실내로 유입하여 반송용 통로로부터 제거되기 때문에 파티클의 비산을 저감할 수 있다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101997932B1
公开(公告)日：2019-07-08
申请号：KR1020130113281
申请日：2013-09-24
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 나카시마츠네나가
IPC: H01L21/027 , H01L21/677 , G03F7/26
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公开(公告)号：KR1020170043452A
公开(公告)日：2017-04-21
申请号：KR1020160129703
申请日：2016-10-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/67
Abstract: 본발명은기판처리시스템에처리액을공급하는데 있어서, 처리액용기의교환작업을간이화하는것을과제로한다. 처리액을이용하여기판의액 처리를행하는액 처리부를구비한복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)에대하여, 용기내에저류된처리액을, 기판처리시스템(PR1∼PR4)의외부로부터공급하는처리액공급장치(1)로서, 처리액이저류되어있는새로운용기(2)의반입과, 사용이끝난용기(3)의반출을행하는반입반출부(10)와, 격벽(21) 내에배치된용기(2)와, 복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)을접속하는처리액유로(12)와, 격벽(21) 내에배치된용기(2) 내의처리액을, 처리액유로(12)를통해복수의기판처리시스템(PR1∼PR4)에대하여압송하는처리액공급부(11)와, 격벽(21) 내의사용이끝난용기(3)와, 반입반출부(10) 상의새로운용기(2)를자동교환하는용기교환기구를갖는다.
Abstract translation: 本发明克服了在向基板处理系统供给处理液时简化处理液容器的更换作业的问题。 储存在容器中的处理液被提供给设置有液体处理单元的多个基板处理系统PR1至PR4，用于利用处理液从基板处理系统PR1至PR4的外部进行液体处理 处理液供给装置1具有搬入搬出处理液的新容器2和搬出使用后的容器3的搬入搬出部10， 用于将容器2连接到多个基板处理系统PR1到PR4的处理液流路12以及设置在分隔壁21中的容器2中的处理液连接到处理液流路12 在分隔件21中的使用过的容器3和在运入/运出部分10上的新容器2， 并有一个自动交换的容器更换机制。
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公开(公告)号：KR1020110074657A
公开(公告)日：2011-07-01
申请号：KR1020100108072
申请日：2010-11-02
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027 , H01L21/302
CPC classification number: B05C5/0237 , B05C5/0225 , B05C13/02 , G03F7/162 , H01L21/0274 , H01L21/302
Abstract: PURPOSE: A chemical liquid supply nozzle and a chemical liquid supply method are provided to suppress a drying effect of a chemical liquid by using a low cost. CONSTITUTION: A nozzle body(51) is connected to a front end part of a flow path member for transferring a chemical liquid. A chemical liquid flow path(52) is installed at the nozzle body. The chemical liquid flow path is used for circulating the chemical liquid supplied from the flow path member. A cutoff valve(62) is installed at the chemical liquid flow path. The cutoff valve is used for closing or opening the chemical liquid flow path.
Abstract translation: 目的：提供化学液体供应喷嘴和化学液体供应方法，以便通过低成本抑制化学液体的干燥效果。 构成：喷嘴体（51）连接到用于输送药液的流路部件的前端部。 化学液体流动路径（52）安装在喷嘴体上。 化学液体流动路径用于循环从流路构件供应的化学液体。 截止阀（62）安装在药液流路上。 截止阀用于关闭或打开化学液体流动路径。
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公开(公告)号：KR1020080036540A
公开(公告)日：2008-04-28
申请号：KR1020070106677
申请日：2007-10-23
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027 , G03F7/30
CPC classification number: G03F7/162 , Y10T137/0402 , H01L21/6715
Abstract: A liquid processing apparatus, a method of mounting and dismounting a cup body, and a storage medium are provided to facilitate operation of mounting and dismounting the cup body from the apparatus and reduce work load of an operator, since a lifting mechanism carries out lifting and lowering of the cup body holder, and notifies the detection of movement to the operator. A liquid processing apparatus(1) which supplies processing liquid from a supply nozzle to a surface of a substrate horizontally held by a substrate support within a case(10), the apparatus comprises a cup body(2), a cup body holder(3), and a lifting mechanism. The cup body surrounds a lateral side of the substrate held by the substrate support, and is detachably mounted to a base body within the case from above. The cup body holder holds the cup body to be mounted and dismounted in a lateral direction. The lifting mechanism lifts and lowers the cup body holder between a first position where the cup is mounted to the base body, and a second position above the first position.
Abstract translation: 提供了一种液体处理装置，一种安装和拆卸杯体的方法以及一种存储介质，以便于将杯体从设备上安装和拆卸的操作，并降低操作者的工作负荷，因为提升机构执行提升和 降低杯身保持器，并且向操作者通知对运动的检测。 一种液体处理设备（1），其将处理液体从供应喷嘴提供到由基板支撑件在壳体（10）内水平保持的基板的表面，所述设备包括杯体（2），杯体保持器（3） ）和提升机构。 杯体围绕由基板支撑件保持的基板的侧面，并且从上方可拆卸地安装在壳体内的基体上。 杯体保持器保持杯体沿横向安装和拆卸。 提升机构将杯体保持器提升并降低在杯安装到基体的第一位置和第一位置之上的第二位置。
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公开(公告)号：KR101554050B1
公开(公告)日：2015-09-17
申请号：KR1020100108072
申请日：2010-11-02
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027 , H01L21/302
CPC classification number: B05C5/0237 , B05C5/0225 , B05C13/02 , G03F7/162
Abstract: 본발명은저비용으로약액의건조를억제할수 있는약액공급노즐을제공하는것을목적으로한다. 본발명의약액공급노즐은, 유로부재의선단부에접속되는노즐본체에차단밸브와, 약액을흡인유로에흡인하는흡인부가설치되어있다. 따라서약액토출후에상기차단밸브의하류측에잔류하는약액을, 차단밸브의상류측으로흡인하여제거하여, 차단밸브에의해노즐본체안의약액유로를차단할수 있다. 이것에의해, 상기약액유로에서의약액의건조및 고화를억제할수 있다. 또한, 약액유로의하류에시너등을흡인하여약액유로를막을필요가없고, 더미디스펜스의횟수도억제할수 있기때문에, 처리비용의상승을억제할수 있다.
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