公开(公告)号：KR101751626B1

公开(公告)日：2017-06-27

申请号：KR1020157020279

申请日：2014-10-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아미야미치타카 ,  사토다카미 ,  에시마카즈요시 ,  나카무라아키히로 ,  다나카코지 ,  고사이가즈키

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67051 ,  B01D19/02 ,  B01F3/0865 ,  B01F15/00357 ,  B01F15/026 ,  B01F2215/0077 ,  B08B3/08 ,  G05D7/01 ,  G05D11/138 ,  H01L21/67017

Abstract: 일실시형태에있어서, 유량조정기구(208)는, 액체라인(202)에상류측으로부터순서대로직렬로설치된제1 유량조정기기(208A)와제2 유량조정기기(208B)를구비한다. 제1 유량조정기기는, 제2 유량조정기기를완전히개방한경우에, 액체라인을흐르는액체의유량이, 미리설정된유량의미리정해진배수가되는미리정해진개방도로조정된다. 제2 유량조정기기는, 제1 유량조정기기의개방도를상기미리정해진개방도로조정한상태로, 액체라인을흐르는액체의유량이, 상기미리설정된유량이되는개방도로조정된다.

公开(公告)号：KR1020150099857A

公开(公告)日：2015-09-01

申请号：KR1020157020279

申请日：2014-10-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아미야미치타카 ,  사토다카미 ,  에시마카즈요시 ,  나카무라아키히로 ,  다나카코지 ,  고사이가즈키

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67051 ,  B01D19/02 ,  B01F3/0865 ,  B01F15/00357 ,  B01F15/026 ,  B01F2215/0077 ,  B08B3/08 ,  G05D7/01 ,  G05D11/138 ,  H01L21/67017

Abstract: 일실시형태에 있어서, 유량 조정 기구(208)는, 액체 라인(202)에 상류측으로부터 순서대로 직렬로 설치된 제1 유량 조정 기기(208A)와 제2 유량 조정 기기(208B)를 구비한다. 제1 유량 조정 기기는, 제2 유량 조정 기기를 완전히 개방한 경우에, 액체 라인을 흐르는 액체의 유량이, 미리 설정된 유량의 미리 정해진 배수가 되는 미리 정해진 개방도로 조정된다. 제2 유량 조정 기기는, 제1 유량 조정 기기의 개방도를 상기 미리 정해진 개방도로 조정한 상태로, 액체 라인을 흐르는 액체의 유량이, 상기 미리 설정된 유량이 되는 개방도로 조정된다.