公开(公告)号：KR1020030090713A

公开(公告)日：2003-11-28

申请号：KR1020037013032

申请日：2002-04-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이이지마기요히토 ,  가이세세이이치 ,  다카하시게이코 ,  오비아키라

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67184 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67745 ,  Y10S414/139

Abstract: 로드 로크실(LL1, LL2)과 로더 모듈(LM) 사이에서의 웨이퍼(W)의 교체 타이밍을 기준으로 하여, 어느 하나의 로드 로크실(LL1, LL2)에 웨이퍼(W)가 반입된 때(Tp)에, 그 로드 로크실(LL1, LL2)에 다음 웨이퍼(W)를 반입 가능해지기까지의 PSL 시간을 산출한다. 그리고, 이 PSL이 산출되면, 로더 아암(LA1, LA2)은 로드 로크실(LL1, LL2)에 반입 가능해지기까지의 시간이 가장 짧은 다음 웨이퍼(W)를 로드 포트(LP1 내지 LP3)로부터 선택한다. 이에 따라, 로드 로크실이 설치된 클러스터 툴에서의 반송 지연을 개선한다.

公开(公告)号：KR100571878B1

公开(公告)日：2006-04-18

申请号：KR1020037013032

申请日：2002-04-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이이지마기요히토 ,  가이세세이이치 ,  다카하시게이코 ,  오비아키라

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67184 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67745 ,  Y10S414/139

Abstract: 로드 로크실(LL1, LL2)과 로더 모듈(LM) 사이에서의 웨이퍼(W)의 교체 타이밍을 기준으로 하여, 어느 하나의 로드 로크실(LL1, LL2)에 웨이퍼(W)가 반입된 때(Tp)에, 그 로드 로크실(LL1, LL2)에 다음 웨이퍼(W)를 반입 가능해지기까지의 PSL 시간을 산출한다. 그리고, 이 PSL이 산출되면, 로더 아암(LA1, LA2)은 로드 로크실(LL1, LL2)에 반입 가능해지기까지의 시간이 가장 짧은 다음 웨이퍼(W)를 로드 포트(LP1 내지 LP3)로부터 선택한다. 이에 따라, 로드 로크실이 설치된 클러스터 툴에서의 반송 지연을 개선한다.