公开(公告)号：KR1020120111717A

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：KR1020120028594

申请日：2012-03-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리야츠요시 ,  도요이즈미슌스케 ,  다카히로가츠유키

IPC: H01L21/02

CPC classification number: F04B37/08 ,  Y10S29/902 ,  Y10S55/05 ,  Y10S264/48 ,  Y10T29/49316 ,  Y10T156/1043

Abstract: PURPOSE: A particle acquisition unit, a manufacturing method thereof, and a substrate processing apparatus are provided to have high rigidity by welding a first net-shaped layer and a second first net-shaped layer. CONSTITUTION: A first net-shaped layer(44) is comprised of a plurality of first stainless steels(44a). A second first net-shaped layer(45) is comprised of a plurality of second stainless steels(45a). The thickness of the first stainless steel is thinner than the thickness of the second stainless steel. The arranging density of the first stainless steel is higher than the arranging density of the second stainless steel. The first net-shaped layer and the second first net-shaped layer are welded.

Abstract translation: 目的：通过焊接第一网状层和第二第一网状层，提供粒子获取单元及其制造方法和基板处理装置以具有高刚性。 构成：第一网状层（44）由多个第一不锈钢（44a）组成。 第二第一网状层（45）由多个第二不锈钢（45a）组成。 第一不锈钢的厚度比第二不锈钢的厚度薄。 第一不锈钢的配置密度高于第二不锈钢的配置密度。 第一网状层和第二第一网状层被焊接。

公开(公告)号：KR101356829B1

公开(公告)日：2014-01-28

申请号：KR1020120028594

申请日：2012-03-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리야츠요시 ,  도요이즈미슌스케 ,  다카히로가츠유키

IPC: H01L21/02

CPC classification number: F04B37/08 ,  Y10S29/902 ,  Y10S55/05 ,  Y10S264/48 ,  Y10T29/49316 ,  Y10T156/1043

Abstract: 본 발명은 배기 효율의 저하를 방지할 수 있는 입자포착 유닛을 제공한다. 파티클 P가 부유하는 공간에 노출되는 파티클 트랩 유닛(40)을 구성하는 제 1 트랩 유닛(40a)은 복수의 제 1 스테인리스강(44a)으로 이루어지는 제 1 그물형상 층(44)과, 복수의 제 2 스테인리스강(45a)으로 이루어지는 제 2 그물형상 층(45)을 구비하고, 제 1 스테인리스강(44a)의 굵기는 제 2 스테인리스강(45a)의 굵기보다 작고, 제 1 그물형상 층(44)에 있어서의 제 1 스테인리스강(44a)의 배치 밀도는 제 2 그물형상 층(45)에 있어서의 제 2 스테인리스강(45a)의 배치 밀도보다도 높고, 제 2 그물형상 층(45)은 제 1 그물형상 층(44) 및 파티클 P가 부유하는 공간의 사이에 개재하고, 제 1 그물형상 층(44) 및 제 2 그물형상 층(45)은 소결에 의해 경화되어 서로 접합하고 있다.