公开(公告)号：KR1020170006264A

公开(公告)日：2017-01-17

申请号：KR1020160083583

申请日：2016-07-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 신도다케히로 ,  시오네리다다시 ,  도고메마사히로

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67259 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67739 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68

Abstract: 본발명은기판반송스루풋을향상시킬수 있으며, 기판의추가적인어긋남이생기는것을억제할수 있는기판반송방법을제공한다. 웨이퍼(W)의기판처리실(15)에의반송경로에배치된우측센서(23a) 및좌측센서(23b)의상방을웨이퍼(W)의엣지에통과시킴으로써, 제1 웨이퍼좌표계에있어서 4개의엣지교차점이취득되고, 4개의엣지교차점으로부터인접한 2개의엣지교차점으로이루어지는기준엣지교차점의세트가작성되며, 기준엣지교차점의세트를구성하지않는나머지 2개의엣지교차점중, 기준엣지교차점의세트를구성하는 2개의엣지교차점에기초하여규정된 2개의원에의해둘러싸인영역내에존재하는엣지교차점이유효엣지교차점으로서또한선별되고, 기준엣지교차점및 유효엣지교차점을통과하는원의중심위치가웨이퍼(W)의중심위치로서취득된다.

Abstract translation: 当晶片的边缘穿过位于晶片的输送路径中的右传感器和左传感器到基板处理室时，在第一晶片坐标系中获取四个边缘交叉点，并且基准边交点点组合 从四个边缘相交点创建两个相邻的边缘相交点。 在不构成参考边缘交叉点集的两个剩余边缘相交点之间，选择存在于基于构成参考边缘相交点集合的两个边缘相交点限定的两个圆圈围绕的区域内的边缘相交点作为有效 并且获取通过参考边缘的交叉点和有效边缘交叉点的圆的中心位置作为晶片的中心位置。

公开(公告)号：KR102233207B1

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：KR1020190000492

申请日：2019-01-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도고메마사히로 ,  곤도게이스케

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: [과제] 기판파지기구상태로서열림상태, 파지상태, 미싱상태, 동작중상태의 4개상태를적은부품점수로정확하게인식한다. [해결수단] 웨이퍼파지기구(1)는웨이퍼의둘레부와계합하는고정클램프부(20b)와, 액츄에이터(22)에의해고정클램프부(20b)에대해서진퇴이동하는가동클램프부(21b)의사이에서웨이퍼를파지하는것이고, 가동클램프부(21b)와연동해움직이는키커(23)와, 각각상이한검지영역을가짐과아울러, 해당검지영역에키커(23)가존재하는지아닌지를검지하는제 1 센서(24a) 및제 2 센서(24b)를구비하고, 키커(23)는가동클램프부(21b)의진퇴방향으로연속하는제 1 ~ 제 4 부분을갖고, 제 1 ~ 제 4 부분은각각, 제 1 센서(24a) 및제 2 센서(24b)에의한검지결과가서로상이한형상을갖는다.