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公开(公告)号：KR102233207B1
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：KR1020190000492
申请日：2019-01-03
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: [과제] 기판파지기구상태로서열림상태, 파지상태, 미싱상태, 동작중상태의 4개상태를적은부품점수로정확하게인식한다. [해결수단] 웨이퍼파지기구(1)는웨이퍼의둘레부와계합하는고정클램프부(20b)와, 액츄에이터(22)에의해고정클램프부(20b)에대해서진퇴이동하는가동클램프부(21b)의사이에서웨이퍼를파지하는것이고, 가동클램프부(21b)와연동해움직이는키커(23)와, 각각상이한검지영역을가짐과아울러, 해당검지영역에키커(23)가존재하는지아닌지를검지하는제 1 센서(24a) 및제 2 센서(24b)를구비하고, 키커(23)는가동클램프부(21b)의진퇴방향으로연속하는제 1 ~ 제 4 부분을갖고, 제 1 ~ 제 4 부분은각각, 제 1 센서(24a) 및제 2 센서(24b)에의한검지결과가서로상이한형상을갖는다.
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公开(公告)号：KR101817391B1
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：KR1020140134314
申请日：2014-10-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/673 , B65D85/38
CPC classification number: H01L21/67772 , B65G2201/0297 , H01L21/67769
Abstract: 본발명은전유면적의증대를억제할수 있는기판반송실을제공하기위한것이다. 상기과제를달성하기위해서, 본발명은, 기판처리시스템(10)에있어서, 웨이퍼(W)를수용하는 FOUP(18)로부터웨이퍼(W)를반출하는로더모듈(15)은, 평면에서보아변형 6 각형의하우징형상의본체(21)와, FOUP(18)를본체(21)에접속하기위한용기접속기구로서의복수의로드포트(22)를구비하고, 복수의로드포트(22) 중하측로드포트(22a) 및상측로드포트(22b)는본체(21)의높이방향으로겹쳐서배치된다.
Abstract translation: 本发明提供一种能够抑制总内部面积的增加的基板输送室。 为了实现上述目的，本发明提供一种基板处理系统10中，作为观察装载模块15取出从FOUP（18）的晶片（W）的用于接收晶片（W），在面内偏差 和主体六边形壳体形状的21，FOUP（18）的主体（21）的多个装载口22设置有多个装载口22作为容器连接机构，以及用于连接到一个负载侧杆 端口（22A）和上装载口（22B）被布置在主体21的高度方向卷起。
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公开(公告)号：KR1020160033604A
公开(公告)日：2016-03-28
申请号：KR1020150126308
申请日：2015-09-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67772 , H01L21/67775
Abstract: 본출원의과제는높이방향으로복수의배치대를갖는덮개개폐장치에있어서, 배치대에배치된기판수납용기내의기판에의이물의부착을억제하는것이다. 일측면에취출구와취출구를막는덮개를갖는기판수납용기를배치가능한배치대를높이방향으로복수로마련한덮개개폐장치로서, 복수의배치대의각각에배치된기판수납용기의덮개와대향하도록마련된덮개개폐기구를구비하고, 적어도상단의배치대측의덮개개폐기구는, 덮개와대향하는면에, 덮개의착탈시에구동하는래치키와, 덮개개폐기구와덮개사이의공간내의가스를흡인하기위한흡인포트와, 덮개를흡착유지하는덮개유지부와, 래치키 및흡인포트보다외주측에마련되는패킹을갖는것을특징으로하는덮개개폐장치가제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种在高度方向具有多个排列单元的盖打开和关闭装置。 盖开闭装置抑制布置在布置单元中的基板容纳容器中的异物与基板的粘附。 盖开闭装置具有在高度方向上的布置单元，其中布置单元可以布置基板容纳容器，该容纳容器包括一侧的空气出口和封闭空气出口的盖。 盖开闭装置包括分别布置在布置单元上的面对基板容纳容器的盖的盖打开和关闭单元。 所述至少上部的所述配置单元上的盖开闭装置包括：当所述盖被安装和拆卸时驱动的闩锁键，其中所述闩锁键形成在面向所述盖的表面上; 用于在盖打开和关闭单元与盖之间的空间中吸入气体的吸入口; 覆盖保持单元吸附并保持盖子; 以及安装在外圆周上的包装单元，其比闩锁键和抽吸口。
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公开(公告)号：KR1020050086778A
公开(公告)日：2005-08-30
申请号：KR1020057009369
申请日：2003-11-27
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L21/67167 , H01L21/67184 , H01L21/67259 , H01L21/68
Abstract: A method for determining delivery position coordinates that define access points for each picker of a transportation mechanism in a cluster system constructed from plural devices (vacuum processing device, load lock chamber, orienter, etc.). (1) Delivery position coordinates of each picker of each transportation mechanism of each device are temporarily determined with rough accuracy. (2) Delivery position coordinates of each picker of a first transportation mechanism of a position alignment device are determined. (3) Part of sets of delivery position coordinates of each picker of a first and the second transportation mechanism for the devices other than the position alignment device are determined. (4) A to-be-delivered object for position alignment is transported to the position alignment device via a transportation route passing one of sets of undetermined delivery position coordinates. An amount of positional displacement of the to-be-delivered object held by the position alignment device is obtained. The one of sets of undetermined delivery position coordinates is corrected based on this amount of positional displacement, and the corrected set of coordinates is determined as a set of delivery position coordinates. (5) Step 4 is repeated until all the temporarily determined coordinates are fixed.
Abstract translation: 一种用于确定从由多个装置（真空处理装置，装载锁定室，定向装置等）构成的集群系统中的传送机构的每个拾取器的接入点的确定传送位置坐标的方法。 （1）每个装置的每个运送机构的每个拾取器的传送位置坐标以粗略的精度临时确定。 （2）确定位置对准装置的第一输送机构的各拾取器的输送位置坐标。 （3）确定除了位置对准装置以外的装置的第一运送机构和第二运送机构的每个拾取器的送出位置坐标的一部分。 （4）用于位置对准的待交付物体经由经过一组未确定的传送位置坐标的传送路线被传送到位置对准装置。 获得由位置对准装置保持的待传送物体的位置位移量。 基于该位置位移量校正一组未确定的传送位置坐标，并且将校正的坐标系确定为一组传送位置坐标。 （5）重复步骤4，直到所有临时确定的坐标固定为止。
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公开(公告)号：KR3003892820000S
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：KR3020040036197
申请日：2004-11-26
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101903270B1
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：KR1020170014475
申请日：2017-02-01
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67389 , H01L21/67376 , H01L21/67379 , H01L21/67393 , H01L21/67772 , H01L21/67775
Abstract: 본발명의과제는, 기판수납용기를, 질소등의퍼지가스를순환하는구조의상압반송실에연결할때에, 연결부나기판수납용기로부터산소가스나수분, 및파티클의침입을극력방지하는것이다. 해결수단으로서, FOUP(10)을탑재하는스테이지(42)와, 상압반송실(8)의벽부(8a)에마련된웨이퍼반송구(40)와, 웨이퍼반송구(40)를개폐하는개폐도어(43)와, 스테이지(42)에탑재된 FOUP(10)을개폐도어(43)에밀착시키고, FOUP(10)의덮개체(22)와개폐도어(43)를결합시키는결합기구와, FOUP(10)이결합기구에의해개폐도어(43)에결합하여있는상태로, FOUP(10) 내를배기·퍼지하는배기·퍼지기구(51, 54)와, 웨이퍼반송구(10)의주연부와개폐도어(43) 사이, 개폐도어(43)와덮개체(22) 사이등에밀폐공간을형성하는시일부재(47, 71, 72)와, 밀폐공간을배기하는배기수단(62, 66)을구비한다.
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公开(公告)号：KR1020160035982A
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：KR1020150131553
申请日：2015-09-17
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677
CPC classification number: F16K49/002 , F16K3/0218 , F16K3/029 , F16K51/02
Abstract: 본발명은기계적강도를유지하면서, 파티클의발생을방지하는게이트밸브를제공하는것을목적으로한다. 상하방향으로배치된복수매의기판을진공용기의내부에반송할때, 상하방향으로배치된복수의개구부를복수의밸브체에의해개폐하는게이트밸브로서, 상기복수의개구부가형성된케이스와, 상기복수의밸브체를지지하는지지부재와, 상기지지부재를통해상기복수의밸브체를이동시켜, 상기복수의개구부를개폐시키는구동기구와, 상기복수의밸브체에대응하여배치된복수의가이드기구를구비하고, 상기복수의가이드기구의각각은, 상기케이스에고정되고, 상하방향으로신축가능한벨로우즈와, 상기벨로우즈에내포되고, 상기벨로우즈의내부에서상기지지부재를가이드하는가이드부재를갖는게이트밸브가제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种在保持机械强度的同时防止颗粒产生的闸阀。 当沿垂直方向布置的多个基板被输送到真空容器中时，闸阀通过使用多个阀体来打开和关闭沿垂直方向布置的多个开口。 闸阀包括：形成有开口的壳体; 支撑多个阀体的支撑构件; 驱动工具，其使所述多个阀体通过所述支撑构件移动以打开和关闭所述多个开口; 以及多个引导工具，其布置成对应于多个阀体。 多个引导工具中的每一个包括：波纹管，其固定到壳体并且能够在垂直方向上扩展; 以及布置在波纹管中以将支撑构件引导到波纹管中的引导构件。
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公开(公告)号：KR1020150040762A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：KR1020140134314
申请日：2014-10-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/673 , B65D85/38
CPC classification number: H01L21/67772 , B65G2201/0297 , H01L21/67769 , H01L21/6773 , H01L21/67742
Abstract: 본발명은전유면적의증대를억제할수 있는기판반송실을제공하기위한것이다. 상기과제를달성하기위해서, 본발명은, 기판처리시스템(10)에있어서, 웨이퍼(W)를수용하는 FOUP(18)로부터웨이퍼(W)를반출하는로더모듈(15)은, 평면에서보아변형 6 각형의하우징형상의본체(21)와, FOUP(18)를본체(21)에접속하기위한용기접속기구로서의복수의로드포트(22)를구비하고, 복수의로드포트(22) 중하측로드포트(22a) 및상측로드포트(22b)는본체(21)의높이방향으로겹쳐서배치된다.
Abstract translation: 本发明的目的在于提供能够抑制专属区域的增加的基板搬送室。 为此，本发明的结构使得在基板处理系统（10）中，从用于容纳晶片（W）的FOUP（18）传送晶片（W）的装载机模块（15）配备有 从平面观察的变形六角形壳体的形状的主体（21）和作为容器连接装置的多个负载口（22），并且在多个负载端口（22），下部负载端口（22a）和 上部装载口（22b）在主体（21）的高度方向上重叠。
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公开(公告)号：KR1020060073491A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：KR1020050128175
申请日：2005-12-22
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 곤도게이스케
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67706 , H01L21/67259
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate processing device capable of improving the accuracy of height position and effectively performing teaching while reducing the processes by visual check and manual labor of a worker at the time of teaching in comparison with the conventional way, and to provide its conveyance alignment method. SOLUTION: The height difference between the mapping sensor 32 of a conveyance mechanism 30 and a substrate conveyance arm 33 and a substrate conveyance arm 34 is detected by an arm position detection sensor 40. Further, the height position of jigs 38 and 39 for Z-axis teaching is detected by the mapping sensor 32. Moreover, the access height to each part of the substrate conveyance arm 33 and the substrate conveyance arm 34 is calculated on the basis of the height position difference between the jigs 38 and 39 for Z-axis teaching, the mapping sensor 32, the substrate conveyance arm 33 and the substrate conveyance arm 34. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
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公开(公告)号：KR100471519B1
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：KR1019980015719
申请日：1998-04-30
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명의 진공 처리 장치는, 목표 압력 범위의 상한을 갖는 가스로 채워진 반송 챔버와, 반송 챔버로 가스를 공급하기 위해 가스 공급원에 연결된 가스 공급 시스템과, 상기 반송 챔버 내로부터 가스를 배출하기 위한 가스 배기 시스템과, 상기 반송 챔버에 연결된 제 1 및 제 2 진공 챔버와, 반송 챔버와 진공 챔버 사이에 위치하여, 반송 챔버와 진공 챔버를 서로 선택적으로 통하게 하는 제 1 및 제 2 게이트 밸브와, 제 1 진공 챔버로부터 제 1 게이트 밸브를 거쳐 반송 챔버로 피처리체를 전달하고, 반송 챔버로부터 제 2 게이트 밸브를 거쳐 제 2 진공 챔버로 피처리체를 전달하기 위한 전달 기구를 구비한다. 가스 공급 시스템 내에는 개폐 밸브가 마련되어 가스 공급원으로부터 반송 챔버로 가스를 선택적으로 공급하고, 개폐 밸브가 닫혔을 때, 목표 압력 범위의 상한에 따라 설정된 체적 및 압력을 갖는 가스가 가스 적재 공간에 저장되도록 개폐 밸브의 업스트림(upstream)에 한정되는 가스 적재 공간이 제공된다.
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