公开(公告)号：KR1020110096493A

公开(公告)日：2011-08-30

申请号：KR1020110014687

申请日：2011-02-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후나코시히데오 ,  마루야마미츠아키

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/3021 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/70916 ,  H01L21/0274

Abstract: 기판의 이면에 부착된 먼지에 기인하는 노광 시의 미스얼라이먼트를 방지하고, 기판 처리면에서 발생한 용해 생성물 등이나 오물이 기판의 이면을 오염하는 것을 방지한다.
기판(G)을 회전 가능하게 유지하는 회전 베이스(2)와, 회전 베이스와 함께 회전 가능하고, 회전 베이스에 유지된 기판의 외측 둘레부를 둘러싸며, 기판의 표면상으로부터 연속되는 액막을 형성하기 위한 둘레 조주(助走) 스테이지(3)와, 기판과 일정한 간극을 두고 대향하는 평면을 갖는 평면부(4)와, 기판의 표면을 따라서 이동하여, 기판에 대한 현상액의 공급과 흡인을 동시에 행하는 노즐 헤드(5)를 설치한다. 평면부는, 기판 이면과 일정한 간극을 두고 유지되고, 간극에 액체를 공급하는 복수의 액체 공급 구멍(40)과, 복수의 액체 공급 구멍의 사이에 끼워지도록 형성되고, 액체를 흡인 배출하기 위한 흡인 배출 구멍(41)을 포함한다. 액체 공급 구멍 및 흡인 배출 구멍에 접속되는 관로(42a, 42b)에 설치되는 유로 개폐 밸브(V1, V2)를 제어부(65)에 의해 개폐 제어한다.

Abstract translation: 防止由于附着在基板背面上的灰尘而引起的曝光时的错位，防止基板处理面上产生的溶解物或污垢污染基板背面。

公开(公告)号：KR101596063B1

公开(公告)日：2016-02-19

申请号：KR1020110014687

申请日：2011-02-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후나코시히데오 ,  마루야마미츠아키

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/3021

Abstract: 기판의이면에부착된먼지에기인하는노광시의미스얼라이먼트를방지하고, 기판처리면에서발생한용해생성물등이나오물이기판의이면을오염하는것을방지한다. 기판(G)을회전가능하게유지하는회전베이스(2)와, 회전베이스와함께회전가능하고, 회전베이스에유지된기판의외측둘레부를둘러싸며, 기판의표면상으로부터연속되는액막을형성하기위한둘레조주(助走) 스테이지(3)와, 기판과일정한간극을두고대향하는평면을갖는평면부(4)와, 기판의표면을따라서이동하여, 기판에대한현상액의공급과흡인을동시에행하는노즐헤드(5)를설치한다. 평면부는, 기판이면과일정한간극을두고유지되고, 간극에액체를공급하는복수의액체공급구멍(40)과, 복수의액체공급구멍의사이에끼워지도록형성되고, 액체를흡인배출하기위한흡인배출구멍(41)을포함한다. 액체공급구멍및 흡인배출구멍에접속되는관로(42a, 42b)에설치되는유로개폐밸브(V1, V2)를제어부(65)에의해개폐제어한다.