公开(公告)号：KR101553417B1

公开(公告)日：2015-09-15

申请号：KR1020100114721

申请日：2010-11-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔야마겐이찌로오 ,  마쯔모또다께시

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67225 ,  H01L21/67196

Abstract: 본발명의과제는멀티모듈을구성하는모듈이사용불가모듈로되었을때에있어서, 기판의반송을빠르게행하여, 제품불량의발생을억제하는것이다. 기판을반송처모듈로반송하기전에, 당해반송처모듈이사용불가로되었을때에는, 기판의반송처를, 당해기판의다음의기판이반입되어야할 모듈로변경한다. 사용불가모듈이발생했을때에, 상기반송수단이, 예를들어반송사이클의상류단부의모듈에대해액세스하기전일때에는, 변경후의반송처모듈내에서앞의기판이반출할수 있는상태로될 때까지반송사이클을진행시키도록제어를행한다. 또한, 사용불가모듈이발생했을때에, 상기반송수단이반송사이클에있어서상기사용불가모듈보다도상류측에위치하고있을때에는, 변경후의반송처모듈내에서앞의기판이반출할수 있는상태로될 때까지, 반송수단의반송동작을대기하도록제어를행한다.

公开(公告)号：KR1020110097601A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：KR1020100117779

申请日：2010-11-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔야마겐이찌로오 ,  마쯔모또다께시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67178 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67745 ,  G03F1/60 ,  G03F7/70975 ,  H01L21/0274

Abstract: 본 발명의 과제는 모듈군 중 순서가 작은 모듈로부터 순서가 큰 모듈로 기판이 순차적으로 반송되는 반송 사이클이 반복해서 행해지는 기판 처리 장치에 있어서, 사용 불가의 모듈이 발생하고 그 후 당해 모듈이 사용 가능하게 되었을 때에, 높은 처리량으로 기판을 처리할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
멀티 모듈의 하나 앞의 모듈로부터 반출된 기판을, 멀티 모듈을 구성하는 모듈군 중 당해 기판의 반출 시에 가장 가까운 타이밍에 기판이 반출된 모듈에 대해, 상기 기판의 반입 순서에 있어서 다음의 모듈로 반입하도록 반송 수단을 제어한다.

公开(公告)号：KR101522742B1

公开(公告)日：2015-05-26

申请号：KR1020100117779

申请日：2010-11-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔야마겐이찌로오 ,  마쯔모또다께시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67178 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67745

Abstract: 본발명의과제는모듈군중 순서가작은모듈로부터순서가큰 모듈로기판이순차적으로반송되는반송사이클이반복해서행해지는기판처리장치에있어서, 사용불가의모듈이발생하고그 후당해모듈이사용가능하게되었을때에, 높은처리량으로기판을처리할수 있는기술을제공하는것이다.멀티모듈의하나앞의모듈로부터반출된기판을, 멀티모듈을구성하는모듈군중 당해기판의반출시에가장가까운타이밍에기판이반입된모듈에대해, 상기기판의반입순서에있어서다음의모듈로반입하도록반송수단을제어한다.

公开(公告)号：KR1020110097600A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：KR1020100114721

申请日：2010-11-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔야마겐이찌로오 ,  마쯔모또다께시

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67225 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/0274 ,  G03F1/60 ,  H01L21/67721

Abstract: 본 발명의 과제는 멀티 모듈을 구성하는 모듈이 사용 불가 모듈로 되었을 때에 있어서, 기판의 반송을 빠르게 행하여, 제품 불량의 발생을 억제하는 것이다.
기판을 반송처 모듈로 반송하기 전에, 당해 반송처 모듈이 사용 불가로 되었을 때에는, 기판의 반송처를, 당해 기판의 다음의 기판이 반입되어야 할 모듈로 변경한다. 사용 불가 모듈이 발생했을 때에, 상기 반송 수단이, 예를 들어 반송 사이클의 상류 단부의 모듈에 대해 액세스하기 전일 때에는, 변경 후의 반송처 모듈 내에서 앞의 기판이 반출할 수 있는 상태로 될 때까지 반송 사이클을 진행시키도록 제어를 행한다. 또한, 사용 불가 모듈이 발생했을 때에, 상기 반송 수단이 반송 사이클에 있어서 상기 사용 불가 모듈보다도 상류측에 위치하고 있을 때에는, 변경 후의 반송처 모듈 내에서 앞의 기판이 반출할 수 있는 상태로 될 때까지, 반송 수단의 반송 동작을 대기하도록 제어를 행한다.

Abstract translation: 本发明的目的是当构成多模块的模块变成不可用模块时快速携带基板，从而抑制产品缺陷的发生。