公开(公告)号：KR1020090123798A

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：KR1020090045707

申请日：2009-05-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 가네꼬도모히로 ,  마쯔모또다께시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67288 ,  G05B2219/37224 ,  H01L21/67276 ,  G03F7/70483 ,  G03F7/16 ,  G03F7/3064 ,  G03F7/3071 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67242 ,  H01L21/67703

Abstract: PURPOSE: A coating-developing apparatus and coating-developing method, and storage medium are provided to select preferentially the inspection reservation signal of the confirmation probing board. CONSTITUTION: The substrate for the product for doing the coating/developing process wafer(W) is accepted. The carrier(C1) for the product wafer and confirmation probing board verifier wafer(CW) is accepted in the carrier(C2) for the verifier wafer. The loading unit(22), and opening and closing part(23) and transfer arm(24) are installed in the carrier block(21). In the inside of the carrier block, surrounding is surrounded with the respective housing, the block(40) and processing block(S1) are included. The reservation signal receiving part receives the inspection reservation signal outputted from the controller(100). The host computer(101) is connected to controller.

Abstract translation: 目的：提供涂布显影装置和涂布显影方法以及存储介质以优先选择确认探测板的检查预约信号。 构成：用于进行涂布/显影处理晶片（W）的产品的基板被接受。 在验证器晶片的载体（C2）中接受用于产品晶片和确认探测板验证器晶片（CW）的载体（C1）。 装载单元（22）和打开和关闭部分（23）和传送臂（24）安装在承载块（21）中。 在承载块的内部，周围被相应的壳体包围，块（40）和处理块（S1）被包括。 预约信号接收部接收从控制器（100）输出的检查预约信号。 主计算机（101）连接到控制器。

公开(公告)号：KR101553417B1

公开(公告)日：2015-09-15

申请号：KR1020100114721

申请日：2010-11-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔야마겐이찌로오 ,  마쯔모또다께시

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67225 ,  H01L21/67196

Abstract: 본발명의과제는멀티모듈을구성하는모듈이사용불가모듈로되었을때에있어서, 기판의반송을빠르게행하여, 제품불량의발생을억제하는것이다. 기판을반송처모듈로반송하기전에, 당해반송처모듈이사용불가로되었을때에는, 기판의반송처를, 당해기판의다음의기판이반입되어야할 모듈로변경한다. 사용불가모듈이발생했을때에, 상기반송수단이, 예를들어반송사이클의상류단부의모듈에대해액세스하기전일때에는, 변경후의반송처모듈내에서앞의기판이반출할수 있는상태로될 때까지반송사이클을진행시키도록제어를행한다. 또한, 사용불가모듈이발생했을때에, 상기반송수단이반송사이클에있어서상기사용불가모듈보다도상류측에위치하고있을때에는, 변경후의반송처모듈내에서앞의기판이반출할수 있는상태로될 때까지, 반송수단의반송동작을대기하도록제어를행한다.

公开(公告)号：KR1020110097601A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：KR1020100117779

申请日：2010-11-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔야마겐이찌로오 ,  마쯔모또다께시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67178 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67745 ,  G03F1/60 ,  G03F7/70975 ,  H01L21/0274

Abstract: 본 발명의 과제는 모듈군 중 순서가 작은 모듈로부터 순서가 큰 모듈로 기판이 순차적으로 반송되는 반송 사이클이 반복해서 행해지는 기판 처리 장치에 있어서, 사용 불가의 모듈이 발생하고 그 후 당해 모듈이 사용 가능하게 되었을 때에, 높은 처리량으로 기판을 처리할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
멀티 모듈의 하나 앞의 모듈로부터 반출된 기판을, 멀티 모듈을 구성하는 모듈군 중 당해 기판의 반출 시에 가장 가까운 타이밍에 기판이 반출된 모듈에 대해, 상기 기판의 반입 순서에 있어서 다음의 모듈로 반입하도록 반송 수단을 제어한다.

公开(公告)号：KR101522742B1

公开(公告)日：2015-05-26

申请号：KR1020100117779

申请日：2010-11-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔야마겐이찌로오 ,  마쯔모또다께시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67178 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67745

Abstract: 본발명의과제는모듈군중 순서가작은모듈로부터순서가큰 모듈로기판이순차적으로반송되는반송사이클이반복해서행해지는기판처리장치에있어서, 사용불가의모듈이발생하고그 후당해모듈이사용가능하게되었을때에, 높은처리량으로기판을처리할수 있는기술을제공하는것이다.멀티모듈의하나앞의모듈로부터반출된기판을, 멀티모듈을구성하는모듈군중 당해기판의반출시에가장가까운타이밍에기판이반입된모듈에대해, 상기기판의반입순서에있어서다음의모듈로반입하도록반송수단을제어한다.

公开(公告)号：KR101436177B1

公开(公告)日：2014-09-01

申请号：KR1020090045707

申请日：2009-05-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 가네꼬도모히로 ,  마쯔모또다께시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67288 ,  G05B2219/37224 ,  H01L21/67276

Abstract: 본 발명의 과제는, 검사 모듈의 트러블이 해소된 후에, 빠르게 제품용 기판을 당해 검사 모듈로 반송하여 검사를 행하는 것이다.
상기 제품용 기판이 반송 경로에 있어서의 상기 검사 모듈보다도 n개 전의 기준 모듈을 통과할 때에, 상기 검사 모듈에 대해 당해 제품용 기판이 속하는 로트에 대해 검사를 행하기 위한 검사 예약 신호를 출력한다. 상기 검사 모듈에 트러블이 발생하고 있는 동안에 있어서는, 상기 제품용 기판에 대한 검사 예약 신호의 출력을 금지하여, 당해 검사 모듈로 반송될 예정의 제품용 기판을 당해 검사 모듈의 다음 반송 순서의 모듈에 반송한다. 당해 검사 모듈의 트러블이 해소되고, 확인 검사용 기판을 우선적으로 검사 모듈에 반송할 때에는, 상기 확인 검사용 기판에 대한 검사 예약 신호를 출력하여 상기 검사 모듈로 반송하고, 당해 검사 모듈의 확인 검사를 행한다.
도포ㆍ현상 장치, 캐리어 블록, 적재부, 개폐부, 전달 아암

公开(公告)号：KR1020110097600A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：KR1020100114721

申请日：2010-11-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔야마겐이찌로오 ,  마쯔모또다께시

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67225 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/0274 ,  G03F1/60 ,  H01L21/67721

Abstract: 본 발명의 과제는 멀티 모듈을 구성하는 모듈이 사용 불가 모듈로 되었을 때에 있어서, 기판의 반송을 빠르게 행하여, 제품 불량의 발생을 억제하는 것이다.
기판을 반송처 모듈로 반송하기 전에, 당해 반송처 모듈이 사용 불가로 되었을 때에는, 기판의 반송처를, 당해 기판의 다음의 기판이 반입되어야 할 모듈로 변경한다. 사용 불가 모듈이 발생했을 때에, 상기 반송 수단이, 예를 들어 반송 사이클의 상류 단부의 모듈에 대해 액세스하기 전일 때에는, 변경 후의 반송처 모듈 내에서 앞의 기판이 반출할 수 있는 상태로 될 때까지 반송 사이클을 진행시키도록 제어를 행한다. 또한, 사용 불가 모듈이 발생했을 때에, 상기 반송 수단이 반송 사이클에 있어서 상기 사용 불가 모듈보다도 상류측에 위치하고 있을 때에는, 변경 후의 반송처 모듈 내에서 앞의 기판이 반출할 수 있는 상태로 될 때까지, 반송 수단의 반송 동작을 대기하도록 제어를 행한다.

Abstract translation: 本发明的目的是当构成多模块的模块变成不可用模块时快速携带基板，从而抑制产品缺陷的发生。