公开(公告)号：KR1019960030434A

公开(公告)日：1996-08-17

申请号：KR1019960000126

申请日：1996-01-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔야마유우지 ,  쓰네마쯔구니에 ,  후쿠다다카히데 ,  이즈미시니치로 ,  기무라요시오 ,  모리타사토시

IPC: H01L21/027

Abstract: 처리제를 처리장치로 공급하는 장치는 액체 처리제를 저장하는 탱크와 탱크속에 구비되어 나선형 관에 의해 형성되는 열교환기를 가지고 있다. 질소가스(N
2 가스)가 탱크 속으로 도입되어 액체 처리제를 증발시킨다. 물은 열교환기의 하부에 연결된 유체 도입관으로부터 열교환기의 나선형관을 통해 열교환기의 상부에 연결된 유체 배출관으로 공급된다. 열교환기에서 물과 액체 처리제 사이의 열교환은 매우 효율적으로 수행된다. 전기를 사용하지 않아 안정성이 매우 높다. 버블링 공정에 의해 기체상태로 변화되는 액체 처리제의 온도는 효율적으로 제어되며, 탱크속에서 기화된 처리제의 농도는 안정화된다.

公开(公告)号：KR100199681B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019960000126

申请日：1996-01-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마쯔야마유우지 ,  쓰네마쯔구니에 ,  후쿠다다카히데 ,  이즈미시니치로 ,  기무라요시오 ,  모리타사토시

IPC: H01L21/027

CPC classification number: C23C16/4482

Abstract: 처리제를 처리장치로 공급하는 장치는 액체 처리제를 저장하는 탱크와 탱크속에 구비되어 나선형 관에 의해 형성되는 열교환기를 가지고 있다. 질소가스(N
2 가스)가 탱크 속으로 도입되어 액체 처리제를 증발시킨다. 물은 열교환기의 하부에 연결된 유체 도입관으로부터 열교환기의 나선형관을 통해 열교환기의 상부에 연결된 유체 배출관으로 공급된다. 열교환기에서 물과 액체 처리제 사이의 열교환은 매우 효율적으로 수행된다. 전기를 사용하지 않아 안정성이 매우 높다.
버블링 공정에 의해 기체상태로 변화되는 액체 처리제의 온도는 효율적으로 제어되며, 탱크속에서 기화된 처리제의 농도는 안정화된다.