公开(公告)号：KR1020040025842A

公开(公告)日：2004-03-26

申请号：KR1020030064983

申请日：2003-09-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다케우치쥰 ,  기시다마사아키 ,  마츠나가다다카즈 ,  엔도쇼스케

IPC: H01L21/68

CPC classification number: C23C4/01 ,  Y10T279/23

Abstract: PURPOSE: To solve the problem at occurrence in a technique of previously clogging a small hole with a filling plug, and to efficiently produce a coating film having excellent quality performance in a coating method for a holed inner member in a vacuum processing device such as an electrostatic chuck. CONSTITUTION: The coating method comprises a stage (a) where the small hole 78 of a holed inner member 81 is clogged with a filling plug 20 containing a core material 22 consisting of a metallic material, and a metal-resin composite layer 24 consisting of a composite body between a resin material having non-adhesive property to a coating film 80 and a metallic material, and covering the outer circumference of the core material 22; a stage (b) where the coating film 80 consisting of a ceramic material is formed on the surface of the holed inner member 81 by plasma spraying after the stage (a); and a stage (c) where the filling plug 20 is pulled out from the small hole 78 after the stage (b).

Abstract translation: 目的：为了解决在先前用填充塞堵塞小孔的技术中出现的问题，并且在真空处理装置中，例如在真空处理装置中，在有孔内部构件的涂布方法中有效地制造出具有优良品质性能的涂膜 静电吸盘。 构成：涂覆方法包括：阶段（a），其中孔内部构件81的小孔78被包含由金属材料构成的芯材22的填充塞20堵塞，并且金属 - 树脂复合层24由 在与涂膜80和金属材料之间具有不粘合性的树脂材料和覆盖芯材22的外周的复合体; 在阶段（a）之后通过等离子体喷涂在孔内部构件81的表面上形成由陶瓷材料构成的涂膜80的阶段（b） 以及在阶段（b）之后从小孔78拉出填充塞20的阶段（c）。

公开(公告)号：KR100540050B1

公开(公告)日：2006-01-11

申请号：KR1020030064983

申请日：2003-09-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다케우치쥰 ,  기시다마사아키 ,  마츠나가다다카즈 ,  엔도쇼스케

IPC: H01L21/68

CPC classification number: C23C4/01 ,  Y10T279/23

Abstract: 본 발명의 진공 처리 장치에 있어서의 유공 내부재의 코팅 방법은, 금속 재료로 이루어진 심재(22)와, 코팅막(80)에 대하여 비접합성의 수지 재료와 금속 재료의 복합체로 이루어져 심재(22)의 외주를 덮는 금속-수지 복합층(24)을 구비하는 마개(20)로, 유공 내부재(81)의 작은 구멍(78)을 막는 단계(A)와, 단계(A) 후에 유공 내부재(81)의 표면에 플라즈마 용사에 의해 세라믹 재료로 이루어진 코팅막(80)을 형성하는 단계(B)와, 단계(B) 후에 작은 구멍(78)으로부터 마개(20)를 뽑아내는 단계(C)를 포함하며, 작은 구멍을 마개로 막아 두는 기술에 있어서의 문제점을 해소하여, 품질 성능이 우수한 코팅막을 능률적으로 제작할 수 있게 된다.