公开(公告)号：KR1020150055568A

公开(公告)日：2015-05-21

申请号：KR1020140155610

申请日：2014-11-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미무라유지 ,  마키데츠야 ,  츠루타시게토 ,  오오니시다츠미 ,  이케모토다이스케 ,  마스나가다카히로

IPC: B05C11/10 ,  B05C5/02 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B05C5/0254 ,  B05C11/1013 ,  B05C11/1047 ,  H01L21/67253

Abstract: 막두께균일성을높인다. 실시형태에따른도포장치는, 슬릿노즐과, 이동기구와, 압력조정부와, 제어부를구비한다. 슬릿노즐은, 도포재를저류하는저류실을구비한다. 이동기구는, 슬릿노즐을기판에대하여상대적으로이동시킨다. 압력조정부는, 저류실내의압력을조정한다. 제어부는, 이동기구및 압력조정부를제어함으로써, 저류실내의압력을부압으로부터대기압에가까워지는방향으로변화시키면서, 슬릿노즐을기판에대하여상대적으로이동시킨다. 또한, 제어부는, 도포개시위치를포함하는개시구간및 도포종료위치를포함하는종료구간에있어서의저류실내의압력변화가, 개시구간및 종료구간을제외한중앙구간에있어서의저류실내의압력변화보다도완만해지도록압력조정부를제어한다.

Abstract translation: 本发明提供能够提高膜厚均匀性的涂布装置。 根据本发明实施例的涂覆装置包括：狭缝喷嘴，其包括保持涂层材料的保持室; 使狭缝喷嘴相对于基板相对移动的移动装置; 压力调节单元，调节保持室内的压力; 以及控制单元，其控制所述移动装置和所述压力调节单元，以使所述狭缝喷嘴相对于所述基板相对移动，同时将所述保持室内的压力从负压转变为大气压。 控制单元构造成控制压力调节单元，使得在包括涂层开始位置和包括涂覆终止位置的端部区域的起始区域内的保持室内的压力变化变得比内部的压力变化慢 保留室位于中间区域，除了起始区域和末端区域。

公开(公告)号：KR102235382B1

公开(公告)日：2021-04-01

申请号：KR1020140155610

申请日：2014-11-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미무라유지 ,  마키데츠야 ,  츠루타시게토 ,  오오니시다츠미 ,  이케모토다이스케 ,  마스나가다카히로

IPC: B05C11/10 ,  B05C5/02 ,  H01L21/027

Abstract: 막두께균일성을높인다. 실시형태에따른도포장치는, 슬릿노즐과, 이동기구와, 압력조정부와, 제어부를구비한다. 슬릿노즐은, 도포재를저류하는저류실을구비한다. 이동기구는, 슬릿노즐을기판에대하여상대적으로이동시킨다. 압력조정부는, 저류실내의압력을조정한다. 제어부는, 이동기구및 압력조정부를제어함으로써, 저류실내의압력을부압으로부터대기압에가까워지는방향으로변화시키면서, 슬릿노즐을기판에대하여상대적으로이동시킨다. 또한, 제어부는, 도포개시위치를포함하는개시구간및 도포종료위치를포함하는종료구간에있어서의저류실내의압력변화가, 개시구간및 종료구간을제외한중앙구간에있어서의저류실내의압력변화보다도완만해지도록압력조정부를제어한다.