公开(公告)号：KR100234635B1

公开(公告)日：1999-12-15

申请号：KR1019960001148

申请日：1996-01-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히로세오사무 ,  사다데스야 ,  다테야마기요히사

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67109 ,  G05D23/1919

Abstract: 작업물을 재치면의 상부표면과 간격을 가지고 대하도록 지지하는 재치면위에 설치된 복수개의 접촉부재와, 접촉부재에 의하여 지지되는 작업물의 온도정보를 출력하기 위한 온도감지소자와, 작업물을 냉각하기 위하여 재치면을 목표 온도보다 낮은 온도로 냉각하는 제1냉각장치와, 제1냉각장치에 의하여 냉각된 작업물을 목표온도와 동일한 온도로 가열하는 제2냉각장치 및, 온도감지소자로부터 전송되는 온도정보에 기초하여 제1냉각장치에 의한 냉각처리와 제2냉각장치에 의한 가열처리사이에 전환동작을 수행하는 대비회로에 의해서 구성되는 작업물을 목표온도로 냉각하기 위한 사진식각술처리를 위한 코팅현상설비내에서의 냉각기관 및 그 냉각방법.

公开(公告)号：KR1019960030310A

公开(公告)日：1996-08-17

申请号：KR1019960001148

申请日：1996-01-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히로세오사무 ,  사다데스야 ,  다테야마기요히사

IPC: H01L21/027

Abstract: 작업물을 작업대의 상부표면과 간격을 가지고 대하도록 지지하는 작업대위에 설치된 복수개의 접촉부재와, 접촉부재에 의하여 지지되는 작업물의 온도정보를 출력하기 위한 온도감지소자와, 작업물을 냉각하기 위하여 작업대를 목표온도보다 낮은 온도로 냉각하는 제1냉각장치와, 제1냉각장치에 의하여 냉각된 작업물을 목표온도와 동일한 온도로 가열하는 제2냉각장치 및, 온도감지소자로부터 전송되는 온도정보에 기초하여 제1냉각장치에 의한 냉각처리와 제2냉각장치에 의한 가열처리 사이에 전환동작을 수행하는 대비회로에 의해서 구성되는 작업물을 목표온도로 냉각하기 위한 사진식각술처리를 위한 코팅현상설비내에서의 냉각기관 및 그 냉각방법.