公开(公告)号：KR1019890002985A

公开(公告)日：1989-04-12

申请号：KR1019880008904

申请日：1988-07-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구마가이히로미 ,  사토오카오루 ,  이마이요시오

IPC: H01L21/00

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR100109312B1

公开(公告)日：1996-12-16

申请号：KR1019880008904

申请日：1988-07-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구마가이히로미 ,  사토오카오루 ,  이마이요시오

IPC: H01L21/00

公开(公告)号：KR1019960001160B1

公开(公告)日：1996-01-19

申请号：KR1019880008904

申请日：1988-07-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구마가이히로미 ,  사토오카오루 ,  이마이요시오

IPC: H01L21/00

CPC classification number: C30B25/10 ,  C30B31/12 ,  F27D1/0033

Abstract: 내용 없음.