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公开(公告)号：KR101013594B1
公开(公告)日：2011-02-14
申请号：KR1020087020894
申请日：2007-09-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01P21/00 , B81C99/005 , G01P15/08
Abstract: 웨이퍼(8)에 형성된 미소 구조체의 가동부(16a)에 대하여 테스트 음파를 출력하여, 미소 구조체의 특성을 평가하는 평가 수단과 접속되는 프로브 카드(4)로서, 테스트 시에 웨이퍼(8)에 형성된 가동부(16a)의 움직임에 기초한 전기적 변화량을 검출하기 위하여, 웨이퍼(8)에 형성된 미소 구조체의 검사용 전극과 전기적으로 접속되는 프로브(4a)와, 테스트 음파의 반사 또는 간섭을 억제하는 흡음재(11), 차폐부(18) 및 호른(19) 중 적어도 1 개를 구비한다. 흡음재(11) 대신에, 또는 흡음재(11)에 추가로 확산부를 구비해도 좋다. 또한, 미소 구조체의 검사 장치는 흡음재(11), 차폐부(18) 또는 호른(19)을 갖는 프로브 카드(4)를 구비한다.
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公开(公告)号：KR1020080106206A
公开(公告)日：2008-12-04
申请号：KR1020087020894
申请日：2007-09-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01P21/00 , B81C99/005 , G01P15/08
Abstract: A probe card (4) being connected with a means for evaluating the characteristics of a minute structure by delivering a test sound wave to the movable portion (16a) of the minute structure formed on a wafer (8) comprises a probe (4a) connected electrically with the inspection electrode of the minute structure formed on the wafer (8) in order to detect electrical variation based on the movement of the movable portion (16a) formed on the wafer (8) during test, and at least one of a sound absorption material (11), a shield portion (18) and a horn (19) for suppressing reflection or interference of the test sound wave. A diffusion portion may be provided in place of the sound absorption material (11) or in addition to the sound absorption material (11). The inspection device of a minute structure comprises a probe card (4) having the sound absorption material (11), the shield portion (18) or the horn (19). ® KIPO & WIPO 2009
Abstract translation: 通过将测试声波传送到形成在晶片（8）上的微小结构的可动部分（16a）而与用于评估微小结构的特性的装置连接的探针卡（4）包括连接的探针（4a） 与形成在晶片（8）上的微小结构的检查电极电连接，以便基于在测试期间在晶片（8）上形成的可动部分（16a）的运动来检测电气变化，并且至少一个声音 吸收材料（11），屏蔽部分（18）和喇叭（19），用于抑制测试声波的反射或干扰。 可以设置扩散部分来代替吸声材料（11），或者除了吸声材料（11）之外。 微小结构的检查装置包括具有吸声材料（11），屏蔽部分（18）或喇叭（19）的探针卡（4）。 ®KIPO＆WIPO 2009
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