公开(公告)号：KR100562381B1

公开(公告)日：2006-03-20

申请号：KR1020037011183

申请日：2002-01-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구보데라마사토 ,  소마마사키 ,  세키구치가츠미 ,  가사이시게루

IPC: H01L21/324

CPC classification number: C23C16/46 ,  C23C16/4411 ,  H01L21/67109

Abstract: 저항 가열 히터 수단과 열전 변환 소자 수단을 조합하여 설치함으로써, 처리 용기의 적절한 온도 제어를 실행할 수 있을 뿐만 아니라, 공간 절약, 에너지 절약 등이 가능한 열처리 장치를 제공한다.
실린더형의 처리 용기(4)와, 피처리체(W)를 재치하기 위해서 상기 처리 용기의 바닥부로부터 지주에 의해 기립시켜 설치한 재치대(14)와, 상기 재치대에 설치되어 상기 피처리체를 가열하는 피처리체 가열 수단(16)을 갖는 열처리 장치에 있어서, 상기 처리 용기의 바닥부에, 가열과 냉각을 선택적으로 실행하는 것이 가능한 열전 변환 소자 수단(38)을 설치하고, 상기 처리 용기의 측벽에 저항 가열 히터 수단(50)을 설치하며, 상기 열전 변환 소자 수단과 상기 저항 가열 히터 수단의 동작을 제어하는 온도 제어부(40)를 설치한다. 이와 같이, 저항 가열 히터 수단과 열전 변환 소자 수단을 조합하여 설치함으로써, 처리 용기의 적절한 온도 제어를 실행할 수 있을 뿐만 아니라, 공간 절약, 에너지 절약 등이 가능해진다.

公开(公告)号：KR1020030087008A

公开(公告)日：2003-11-12

申请号：KR1020037011183

申请日：2002-01-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구보데라마사토 ,  소마마사키 ,  세키구치가츠미 ,  가사이시게루

IPC: H01L21/324

CPC classification number: C23C16/46 ,  C23C16/4411 ,  H01L21/67109

Abstract: 저항 가열 히터 수단과 열전 변환 소자 수단을 조합하여 설치함으로써, 처리 용기의 적절한 온도 제어를 실행할 수 있을 뿐만 아니라, 공간 절약, 에너지 절약 등이 가능한 열처리 장치를 제공한다.
관상형의 처리 용기(4)와, 피처리체(W)를 탑재하기 위해서 상기 처리 용기의 바닥부로부터 지주에 의해 기립시켜 설치한 탑재대(14)와, 상기 탑재대에 설치되어 상기 피처리체를 가열하는 피처리체 가열 수단(16)을 갖는 열처리 장치에 있어서, 상기 처리 용기의 바닥부에, 가열과 냉각을 선택적으로 실행하는 것이 가능한 열전 변환 소자 수단(38)을 설치하고, 상기 처리 용기의 측벽에 저항 가열 히터 수단(50)을 설치하며, 상기 열전 변환 소자 수단과 상기 저항 가열 히터 수단의 동작을 제어하는 온도 제어부(40)를 설치한다. 이와 같이, 저항 가열 히터 수단과 열전 변환 소자 수단을 조합하여 설치함으로써, 처리 용기의 적절한 온도 제어를 실행할 수 있을 뿐만 아니라, 공간 절약, 에너지 절약 등이 가능해진다.