公开(公告)号：KR1020140107279A

公开(公告)日：2014-09-04

申请号：KR1020147016724

申请日：2012-12-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사사키야스하루 ,  스가마타다케시 ,  아오토다다시

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  C09J201/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32715 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/6831 ,  H01L2221/683

Abstract: 본 발명은 정전 척의 접착 결합에 이용되는 접착제의 열화를 방지할 수 있는 탑재대(70), 및 그러한 탑재대(70)를 구비하는 플라즈마 처리 장치(10)를 제공하는 것을 목적으로 한다. 탑재대(70)는 정전 척(50), 베이스(14) 및 통형상의 슬리브(80)를 구비한다. 정전 척(50)은 플라즈마에 노출되는 표면 및 이 표면과 대향하는 이면을 갖고, 제 1 관통 구멍이 형성된다. 베이스(14)는 정전 척(50)의 이면에 제 1 접착제(71)에 의해서 접합되고, 제 1 관통 구멍에 연통되어 상기 제 1 관통 구멍의 구경(R1)보다 큰 구경(R2)의 제 2 관통 구멍이 형성된다. 슬리브(80)는, 제 2 접착제(72)에 의해서, 제 1 관통 구멍과 연통한 상태로 정전 척(50)의 이면에 접합된다.

公开(公告)号：KR102147551B1

公开(公告)日：2020-08-24

申请号：KR1020147016724

申请日：2012-12-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사사키야스하루 ,  스가마타다케시 ,  아오토다다시

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  C09J201/00