公开(公告)号：KR1020170142905A

公开(公告)日：2017-12-28

申请号：KR1020170075800

申请日：2017-06-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스기타기페이 ,  미나미도모히데

IPC: G01D5/24 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  G01D5/244

Abstract: 정전용량측정용측정기가제공된다. 측정기는, 원반형상을갖는베이스기판과, 베이스기판의에지를따라배열된복수의측부전극을각각제공하는복수의제1 센서, 각각이베이스기판의바닥면을따라마련된바닥부전극을갖는 1 이상의제2 센서, 및회로기판을구비한다. 회로기판은, 복수의측부전극및 바닥부전극에고주파신호를부여하여, 복수의측부전극에있어서의전압진폭의각각으로부터정전용량을나타내는복수의제1 측정값을생성하고, 바닥부전극에있어서의전압진폭으로부터정전용량을나타내는제2 측정값을생성하도록구성되어있다.

Abstract translation: 提供用于测量电容的测量仪器。 计，提供了根据是否在基底基板布置的多个侧电极，分别具有圆盘状的基体基板，所述多个第一传感器，其每一个具有沿着基底基板的底表面设置的至少一个底部电极 第二个传感器和电路板。 所述电路板通过向所述多个侧电极和所述底电极施加高频信号来生成指示所述多个侧电极的每个电压幅度的电容的多个第一测量值， 并根据电压的电压幅度生成第二个测量值，指示电容。