公开(公告)号：KR1020170048169A

公开(公告)日：2017-05-08

申请号：KR1020160132639

申请日：2016-10-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스기타깃페이 ,  미나미도모히데

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/52 ,  H01L23/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66 ,  H01L21/60

Abstract: (과제) 포커스링과웨이퍼의위치관계의파악을위해이용되는포커스링을제공한다. (해결수단) 일실시형태의포커스링은, 포커스링 본체, 및, 복수의센서칩을포함하고있다. 포커스링 본체는, 제 1 환상부및 제 2 환상부를갖고있다. 제 1 환상부는, 중심축선에대하여둘레방향으로연장되는상면을제공하는안쪽부분, 및, 안쪽부분보다바깥쪽에서연장되는바깥쪽부분을갖는다. 제 2 환상부는, 제 1 환상부의바깥쪽부분의위에마련되어있다. 복수의센서칩은, 포커스링 본체의제 1 환상부의안쪽부분내에마련되어있고, 또한, 중심축선에대하여둘레방향으로배열되어있다. 복수의센서칩의각각은, 제 1 전극을갖고있다. 제 1 전극은, 중심축선에교차하는방향으로연장되어있다.

Abstract translation: 提供用于掌握聚焦环与晶片之间的位置关系的聚焦环。 （方案）一个实施例的聚焦环包括聚焦环主体和多个传感器芯片。 聚焦环本体具有第一环形部分和第二环形部分。 第一环形部分具有提供相对于中心轴线在圆周方向上延伸的上表面和向内延伸的外部分的内部分。 第二环形部分设置在第一环形部分的外部上。 多个传感器芯片设置在聚焦环本体的第一环形部分的内部中，并且相对于中心轴线沿圆周方向布置。 多个传感器芯片中的每一个都具有第一电极。 第一电极在与中心轴交叉的方向上延伸。

公开(公告)号：KR1020040017271A

公开(公告)日：2004-02-26

申请号：KR1020047000004

申请日：2002-07-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고바야시신지 ,  기타노다카히로 ,  모리카와마사테루 ,  이시자카노부카즈 ,  고가노리히사 ,  미나미도모히데 ,  스기모토신이치 ,  오쿠라준 ,  구리시마히로아키

IPC: H01L21/20

CPC classification number: H01L21/67253 ,  B05C5/0216 ,  B05C5/0291 ,  B05D1/005 ,  G03F7/162 ,  H01L21/6715

Abstract: 미리 제품기판과 같은 기판에 대하여 노즐에 의해 스캔하면서 도포액을 공급하여 도포액의 선을 형성하여, 이것을 예를 들어 CCD 카메라로 촬상하여 도포액의 접촉각을 구하여, 이 접촉각에 기초하여 기하학 모델을 이용하여, 실제 도포를 할 때의 스캔속도에 있어서의 도포액 노즐의 토출유량과, 피치의 허용범위와의 관계데이터를 구한다. 그리고 미리 목표막두께마다 도포액 노즐의 토출유량과 피치와의 관계 데이터를 작성해 두고, 양자의 관계데이터에 기초하여 피치를 결정한다.

公开(公告)号：KR1020170142905A

公开(公告)日：2017-12-28

申请号：KR1020170075800

申请日：2017-06-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스기타기페이 ,  미나미도모히데

IPC: G01D5/24 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  G01D5/244

Abstract: 정전용량측정용측정기가제공된다. 측정기는, 원반형상을갖는베이스기판과, 베이스기판의에지를따라배열된복수의측부전극을각각제공하는복수의제1 센서, 각각이베이스기판의바닥면을따라마련된바닥부전극을갖는 1 이상의제2 센서, 및회로기판을구비한다. 회로기판은, 복수의측부전극및 바닥부전극에고주파신호를부여하여, 복수의측부전극에있어서의전압진폭의각각으로부터정전용량을나타내는복수의제1 측정값을생성하고, 바닥부전극에있어서의전압진폭으로부터정전용량을나타내는제2 측정값을생성하도록구성되어있다.

Abstract translation: 提供用于测量电容的测量仪器。 计，提供了根据是否在基底基板布置的多个侧电极，分别具有圆盘状的基体基板，所述多个第一传感器，其每一个具有沿着基底基板的底表面设置的至少一个底部电极 第二个传感器和电路板。 所述电路板通过向所述多个侧电极和所述底电极施加高频信号来生成指示所述多个侧电极的每个电压幅度的电容的多个第一测量值， 并根据电压的电压幅度生成第二个测量值，指示电容。

公开(公告)号：KR1020170113262A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：KR1020170038184

申请日：2017-03-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스기타깃페이 ,  미나미도모히데

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: (과제) 측정기와포커스링의사이의정전용량을나타내는측정데이터의취득에있어서, 측정기의전원의소비전력을억제한다. (해결수단) 측정기의프로세서가, 하나이상의제 1 데이터세트를, 미리설정된시간간격으로취득한다. 하나이상의제 1 데이터세트의각각은, 측정기의하나이상의센서전극중 대응하는센서전극의정전용량을나타내는복수의디지털값을포함한다. 프로세서는, 하나이상의제 1 데이터세트의각각에포함되는복수의디지털값의평균치가제 1 임계치이상이된 것에응답하여, 복수의제 2 데이터세트를취득한다. 복수의제 2 데이터세트의각각은, 측정기의복수의센서전극중 대응하는센서전극의정전용량을나타내는복수의디지털값을포함한다. 프로세서는, 복수의제 2 데이터세트에근거하는측정데이터를측정기의기억장치에기억시킨다. 그다음에, 측정기가, 챔버로부터반출된다.

Abstract translation: [问题]为了获取表示测量装置和聚焦环之间的电容的测量数据，测量装置的电源的功耗被抑制。 测量仪器的处理器以预定时间间隔获取一个或多个第一数据集。 一个或多个第一数据集中的每一个包括表示仪表的一个或多个传感器电极中相应一个的电容的多个数字值。 处理器响应于包括在一个或多个第一数据集的每一个中的多个数字值的平均值超过第一阈值而获取多个第二数据集。 多个第二数据集中的每一个包括指示测量仪器的多个传感器电极中的对应传感器电极的电容的多个数字值。 处理器将基于多个第二数据组的测量数据存储在测量装置的存储装置中。 然后，将测量仪器从腔室中取出。