公开(公告)号：KR1020170048169A

公开(公告)日：2017-05-08

申请号：KR1020160132639

申请日：2016-10-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스기타깃페이 ,  미나미도모히데

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/52 ,  H01L23/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66 ,  H01L21/60

Abstract: (과제) 포커스링과웨이퍼의위치관계의파악을위해이용되는포커스링을제공한다. (해결수단) 일실시형태의포커스링은, 포커스링 본체, 및, 복수의센서칩을포함하고있다. 포커스링 본체는, 제 1 환상부및 제 2 환상부를갖고있다. 제 1 환상부는, 중심축선에대하여둘레방향으로연장되는상면을제공하는안쪽부분, 및, 안쪽부분보다바깥쪽에서연장되는바깥쪽부분을갖는다. 제 2 환상부는, 제 1 환상부의바깥쪽부분의위에마련되어있다. 복수의센서칩은, 포커스링 본체의제 1 환상부의안쪽부분내에마련되어있고, 또한, 중심축선에대하여둘레방향으로배열되어있다. 복수의센서칩의각각은, 제 1 전극을갖고있다. 제 1 전극은, 중심축선에교차하는방향으로연장되어있다.

Abstract translation: 提供用于掌握聚焦环与晶片之间的位置关系的聚焦环。 （方案）一个实施例的聚焦环包括聚焦环主体和多个传感器芯片。 聚焦环本体具有第一环形部分和第二环形部分。 第一环形部分具有提供相对于中心轴线在圆周方向上延伸的上表面和向内延伸的外部分的内部分。 第二环形部分设置在第一环形部分的外部上。 多个传感器芯片设置在聚焦环本体的第一环形部分的内部中，并且相对于中心轴线沿圆周方向布置。 多个传感器芯片中的每一个都具有第一电极。 第一电极在与中心轴交叉的方向上延伸。

公开(公告)号：KR1020170113262A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：KR1020170038184

申请日：2017-03-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스기타깃페이 ,  미나미도모히데

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: (과제) 측정기와포커스링의사이의정전용량을나타내는측정데이터의취득에있어서, 측정기의전원의소비전력을억제한다. (해결수단) 측정기의프로세서가, 하나이상의제 1 데이터세트를, 미리설정된시간간격으로취득한다. 하나이상의제 1 데이터세트의각각은, 측정기의하나이상의센서전극중 대응하는센서전극의정전용량을나타내는복수의디지털값을포함한다. 프로세서는, 하나이상의제 1 데이터세트의각각에포함되는복수의디지털값의평균치가제 1 임계치이상이된 것에응답하여, 복수의제 2 데이터세트를취득한다. 복수의제 2 데이터세트의각각은, 측정기의복수의센서전극중 대응하는센서전극의정전용량을나타내는복수의디지털값을포함한다. 프로세서는, 복수의제 2 데이터세트에근거하는측정데이터를측정기의기억장치에기억시킨다. 그다음에, 측정기가, 챔버로부터반출된다.

Abstract translation: [问题]为了获取表示测量装置和聚焦环之间的电容的测量数据，测量装置的电源的功耗被抑制。 测量仪器的处理器以预定时间间隔获取一个或多个第一数据集。 一个或多个第一数据集中的每一个包括表示仪表的一个或多个传感器电极中相应一个的电容的多个数字值。 处理器响应于包括在一个或多个第一数据集的每一个中的多个数字值的平均值超过第一阈值而获取多个第二数据集。 多个第二数据集中的每一个包括指示测量仪器的多个传感器电极中的对应传感器电极的电容的多个数字值。 处理器将基于多个第二数据组的测量数据存储在测量装置的存储装置中。 然后，将测量仪器从腔室中取出。