公开(公告)号：KR1020140142659A

公开(公告)日：2014-12-12

申请号：KR1020140063701

申请日：2014-05-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후세타카시 ,  시부야세츠코

IPC: H01L51/00 ,  B05D3/06 ,  B05D7/02 ,  B05D1/00 ,  C23C16/455

CPC classification number: B05C9/12 ,  B05D1/60 ,  B05D3/063 ,  B05D3/064 ,  B05D3/067 ,  B05D7/02 ,  C23C16/45536 ,  H01L51/001

Abstract: 적용되는 피처리체, 또는 형성되는 막 표면의 형상의 자유도가 높은 유기 분자막의 형성 장치 및 형성 방법을 제공한다. 피처리체 상에 유기 분자막을 형성하는 유기 분자막의 형성 장치(100)는, 피처리체를 수용하는 처리 챔버(11)와, 처리 챔버(11) 내로 유기 재료 가스를 공급하는 유기 재료 가스 공급부(2)와, 피처리체, 피처리체로 공급되는 유기 재료 가스, 및 피처리체의 표면에 형성된 막 중 적어도 하나에 자외선을 조사하는 자외선 조사부(13)를 가지고, 자외선 조사부(13)에 의해, 피처리체, 피처리체로 공급되는 유기 재료 가스, 및 피처리체의 표면에 형성된 막 중 적어도 하나에 자외선을 조사하고, 피처리체 표면 및 형성되는 유기 분자막 중 적어도 하나를 활성화한다.

Abstract translation: 提供一种有机分子膜形成装置和有机分子膜形成方法，其允许对各种处理对象物进行各种选择和形成各种膜表面的形状。 在处理目标物体上形成有机分子膜的有机分子膜形成装置（100）包括：在其中容纳处理对象物体的处理室（11） 向所述处理室供给有机材料气体的有机材料气体供给单元; 以及紫外线照射单元，其将紫外线照射到处理目标物体，供给到处理对象物体的有机材料气体和形成在处理对象物体的表面上的膜中的至少一个。 通过从紫外线照射单元（13）向紫外线照射单元（13）照射紫外线，将处理对象物的表面和其中形成的有机分子膜中的至少一个激活到处理对象物中，提供给 处理目标对象和形成在处理目标对象上的胶片。