公开(公告)号：KR1020030039318A

公开(公告)日：2003-05-17

申请号：KR1020020069891

申请日：2002-11-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사다테츠야 ,  신오자키켄야 ,  미야자키카즈히토

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1303 ,  F26B21/004 ,  H01L21/67051 ,  Y10S414/14

Abstract: PURPOSE: A substrate processing device is provided to prevent improve the re-deposition of mist generated from the surface of a substrate upon a drying process for blowing gas against the substrate to be processed. CONSTITUTION: Each gas injection unit(152) ejects knife-type sharp air in the opposite direction of the transfer direction and streams the air to the upper and lower surfaces of a substrate(G) from obliquely upward and obliquely downward directions when the substrate passes near upper and lower air knives(140,142) on a transfer passage(114). Accordingly, a liquid film(Ra) or liquid drops(Rb) of rinse solution are blown to the rear side of the substrate at the upper and lower surfaces of the substrate or are gathered against the surface tension. Mist is generated from the surfaces of the substrate near each mist suction port(172) which directly receive the wind pressure of air. However, the generated mist is quickly sucked into each mist recovering chambers(170) without being diffused to the circumference of the substrate and is discharged through discharging pipes(174).

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置，用于防止在用于将气体吹向待处理基板的干燥处理时从基板表面产生的雾的再沉积。 构成：每个气体注入单元（152）沿着传送方向的相反方向喷射刀状锐化空气，当衬底通过时，将空气从倾斜向上和向下倾斜的方向流入衬底（G）的上表面和下表面 靠近上部和下部气刀（140,142）在传送通道（114）上。 因此，冲洗液的液膜（Ra）或液滴（Rb）在基板的上表面和下表面被吹送到基板的后侧，或者聚集在表面张力上。 从靠近每个雾吸入口（172）附近的基板的表面产生雾，其直接接收空气的风压。 然而，所产生的雾被快速吸入每个雾回收室（170）中，而不会扩散到基板的周边，并通过排放管（174）排出。

公开(公告)号：KR100904278B1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：KR1020020069891

申请日：2002-11-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사다테츠야 ,  신오자키켄야 ,  미야자키카즈히토

IPC: G02F1/13

Abstract: 본 발명은, 기판처리장치에 관한 것으로, 반송로 상에서 기판이 상하 에어나이프의 옆을 통과할 때, 각각의 기체 분출부는 반송방향 반대방향으로 나이프형상의 예리한 공기를 분출하여 각각 사선 위쪽 및 사선 아래쪽에서 기판 상면 및 하면에 분출한다. 그렇게 하면, 기판의 상하면에 있어서 린스액의 액막과 액방울이 표면장력에 대항하여 기판 후방으로 밀려보내어지거나, 혹은 모여서, 에어의 풍압을 직접 받는 각 미스트 흡입구 부근의 기판표면에서는 미스트가 발생한다. 그러나, 발생한 미스트는 주위로 확산되지 않고 신속하게 각 미스트회수부의 안쪽으로 빨아들여 배기관을 통해 배출된다.

Abstract translation: 本发明涉及一种基板处理装置，当所述基板通过所述输送路径上的上部和下部空气刀的侧面通过，每个气体喷射单元在相反的方向输送方向以分别喷射锋利气刀形状倾斜顶部和倾斜底部 在基板的上表面和下表面上。 然后，通过发送或针对冲洗液体和液滴到基板表面张力的液体薄膜被推回在基板的上表面和下表面，或一起在经受空气入口的风压直接到每个雾产生的雾在基材表面的附近。 但是，所产生的雾在周围不扩散地迅速地吸入到各雾回收部的内部，通过排气管排出。