公开(公告)号：KR1020160114556A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：KR1020160121402

申请日：2016-09-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 호사카히로키 ,  아키야마슈지

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67706 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67703 ,  H01L21/67739 ,  H01L21/6776 ,  H01L21/683 ,  H01L22/12

Abstract: (과제) 종래와같이카세트등의용기와어댑터유닛의전환작업을하지않고, 피검사체의비자동반송및 자동반송에대응시킬수 있는어댑터유닛내장형로더실을제공한다. (해결수단) 본발명의로더실(10)은, 카세트배치부(11)와는별도의버퍼테이블배치부(13)에반도체웨이퍼(W)를자동반송하는 RGV(40)에대응하여설치되고, RGV(40) 및프로버실(20) 각각과의사이에서반송되는반도체웨이퍼(W)를복수유지하는어댑터유닛을갖추고있다.

Abstract translation: 本发明提供一种适配器单元内置式装载器室，其能够适应被测试者的非自动输送和自动输送，而无需如现有技术那样在诸如盒的容器和适配器单元之间进行切换。 本发明的装载室10与自动地将缓冲片W搬送到与盒安装部11分离的缓冲台配置部13的RGV40对应地设置， 以及适配器单元，其用于保持分别在RGV40和探测器室20之间输送的多个半导体晶片W.

公开(公告)号：KR1020140105396A

公开(公告)日：2014-09-01

申请号：KR1020140019444

申请日：2014-02-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  아메미야히로시

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/06733 ,  H01L21/67766

Abstract: Provided are a probe device and a wafer loader, able to control the height of a wafer storage container to the height corresponding to an automated transporter by a transfer robot, and also respond to a large test head or the like. The probe device performing an electrical test on a semiconductor device formed on a semiconductor wafer comprises a probe part and a wafer loader. The probe part includes a placement table; a driving apparatus of the placement table, making a probe in contact with the semiconductor device of the semiconductor wafer placed on the placement table by driving the placement table; and a probe housing accommodating the placement table and the driving apparatus of the placement table. The wafer loader includes a loader housing; a storage container placement table where a wafer storage container is placed; a driving apparatus of the storage container placement table moving the storage container placement table to a first location aside from the loader housing and a second location lower than the first location inside the loader housing; and a wafer transporting apparatus accommodated inside the loader housing and constituted to be able to transport the semiconductor wafer between the wafer storage container and the placement table.

Abstract translation: 提供了一种探针装置和晶片装载器，其能够通过传送机器人将晶片存储容器的高度控制到对应于自动运送器的高度，并且还响应于大的测试头等。 在形成在半导体晶片上的半导体器件上执行电测试的探针器件包括探针部分和晶片加载器。 探针部分包括放置台; 放置台的驱动装置，通过驱动放置台使探针与放置在放置台上的半导体晶片的半导体器件接触; 以及容纳放置台和放置台的驱动装置的探针壳体。 晶片装载机包括一个装载机壳体; 储存容器放置台，其中放置晶片储存容器; 存储容器放置台的驱动装置将储存容器放置台移动到除装载机壳体之外的第一位置和比装载机壳体内的第一位置低的第二位置; 以及容纳在所述加载器壳体内的晶片输送装置，其被构造成能够在所述晶片储存容器和所述放置台之间输送所述半导体晶片。

公开(公告)号：KR101374529B1

公开(公告)日：2014-03-13

申请号：KR1020130024513

申请日：2013-03-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  아메미야히로시

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073

Abstract: 프로브 카드를 반송하여 장착할 시 확실히 전달을 행할 수 있어, 프로브 카드의 파손 등의 발생을 억제할 수 있는 프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 제공한다. 카드 클램프 기구와, 웨이퍼 척과, 하면에 위치 조정용 마크가 설치된 트레이와, 트레이를 지지 가능한 트레이 지지 기구와, 카메라와, 트레이를 트레이 지지 기구와의 전달 위치로 반입시키기 위한 이동 기구와, 이동 기구에 의해 전달 위치에 배치된 트레이의 위치 조정용 마크를 카메라에 의해 촬상하여 그 위치를 검출하고, 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있을 경우에는, 이동 기구로부터 트레이 지지 기구로의 프로브 카드의 전달을 행하고, 소정의 범위 외에 있을 경우에는, 프로브 카드의 전달을 중지하는 제어 수단을 구비하고 있다.

公开(公告)号：KR1020130097668A

公开(公告)日：2013-09-03

申请号：KR1020130018823

申请日：2013-02-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  가메다노부히로 ,  다나카간지

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073

CPC classification number: G01R31/2601 ,  G01R1/07307

Abstract: PURPOSE: A probe device and a parallel adjustment device are provided to precisely maintain the parallel status of a semiconductor wafer and a probe card by suppressing the degradation of intensity of the parallel adjustment device which adjusts the parallel state of the probe card. CONSTITUTION: A mounting table (11) mounts a target substrate. A head plate (15) holds a probe card (12) on the upper side of the mounting table. Four support pillars (16) support the head plate in four corners. An elevating device (17) is arranged in at least three places among the support pillars. A brake device (20) prevents the elevation of the head plate.

Abstract translation: 目的：提供探针装置和并联调节装置，通过抑制调整探针卡的并行状态的并联调节装置的强度的劣化来精确地保持半导体晶片和探针卡的并联状态。 构成：安装台（11）安装目标基板。 头板（15）将探针卡（12）保持在安装台的上侧。 四个支柱（16）在四个角落支撑头板。 升降装置（17）布置在支撑柱中的至少三个位置。 制动装置（20）防止头板的升高。

公开(公告)号：KR101256306B1

公开(公告)日：2013-04-18

申请号：KR1020110058525

申请日：2011-06-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 노구치마사유키 ,  아키야마슈지

IPC: G01R31/28 ,  G01R1/067 ,  H01L21/66

Abstract: (과제) 적정한 오버드라이브량 및 안정된 프로브 마크를 얻을 수 있고, 범용성이 있는 헤드 플레이트를 사용할 수 있는 프로브 카드의 평행 조정 기구를 제공한다.
(해결수단) 본 발명의 프로브 카드의 평행 조정 기구는, 헤드 플레이트(15)를 네 모서리에서 지지하는 4개소의 지지 기둥(16) 중의 4개소에서 헤드 플레이트(15)를 승강시켜, 프로브 카드(12)와 그 아래쪽에 배치된 웨이퍼 척(11) 상의 웨이퍼(W)의 평행도를 조정하는 기구로서, 4개소의 지지 기둥(16)과 헤드 플레이트(15) 사이에 개재되는 승강 기구(17A)를 포함하고, 승강 기구(17A)는, 지지 기둥(16)의 상면을 따라서 이동할 수 있게 배치된 경사면을 갖는 이동체(17C)와, 헤드 플레이트(15)에 연결되고 이동체(17C)의 경사면을 따라서 승강 가능하게 배치된 승강체(17E)와, 이동체(17C)를 지지 기둥(16)의 상면을 따라서 이동시키는 구동 기구(17F)를 갖는다.

公开(公告)号：KR1020100138758A

公开(公告)日：2010-12-31

申请号：KR1020100054756

申请日：2010-06-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 호사카히로키 ,  아키야마슈지

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67706 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67703 ,  H01L21/67739 ,  H01L21/6776 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L22/12

Abstract: PURPOSE: An adapter unit embedded loader chamber is provided to hold a plurality of wafers between a automatic rail-guided-vehicle(RGV) and a prober chamber. CONSTITUTION: A container, which is installed at an arranging part, contains a plurality of wafers. A transferring unit is arranged between the container and a processing chamber to transfer the wafers. An automatic RGV transfers the wafers to the different position from the arranging part. An adapter unit(30) functions as a buffer table. The adapter unit holds the wafers between the RGV and a prober chamber.

Abstract translation: 目的：提供适配器单元嵌入式装载机室，以将多个晶片保持在自动轨道导向车辆（RGV）和探测室之间。 构成：安装在排列部分的容器包含多个晶片。 转移单元布置在容器和处理室之间以转移晶片。 自动RGV将晶片转移到与排列部分不同的位置。 适配器单元（30）用作缓冲表。 适配器单元将晶片保持在RGV和探针室之间。

公开(公告)号：KR100804900B1

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：KR1020067019031

申请日：2005-03-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  나부테스코 가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  유다테도시히로 ,  야마다히로시 ,  가메다노부히로

IPC: H01L21/68

CPC classification number: F16H1/46 ,  F16H1/32 ,  G01R31/2887 ,  H02K7/116

Abstract: 컴팩트한 중량물의 선회장치의 기술을 제공한다. 이 선회장치는, 중량물(5)에 결합되는 선회아암(11) 및 상기 선회아암(11)을 선회 구동시키는 구동장치(12)로 이루어진다. 구동장치(12)는, 유성 기어식 감속기의 회전입력부와 동축선 A상에서 연결되는 로터축을 내장한 모터를 구비하고 있고, 또한 상기 선회아암(11)은, 그 제 1 평면이 유성 기어식 감속기의 회전출력부가 되는 평면에 결합되고, 한편, 제 1 평면과 직교하는 제 2 평면에서 중량물에 결합되어 있다. 그리고, 상기 선회아암(11) 및 상기 구동장치(12)는, 선회아암(11)의 선회지점(旋回支點)의 축선 A방향에 있어서 중량물(5)의 폭 D내에 배치되어 있다. 한편, 구동장치(12)의 유성 기어식 감속기는, 전단(前段)과 후단(後段)의 2단으로 배치하더라도 좋다.

公开(公告)号：KR1020070109935A

公开(公告)日：2007-11-15

申请号：KR1020070045843

申请日：2007-05-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 호사카히로키 ,  아키야마슈지 ,  오비카네다다시

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2893

Abstract: An inspection apparatus and an inspection method are provided to reduce an occupied space and to be transformed to a dual loader type inspection device and to enhance the inspection efficiency by connecting to a single loader type auto transfer line, without extending a foot-print of the single loader type. A probe room performs a test for an object. A loader room(11) is located along the side of the probe room. A cassette for storing the plural objects is mounted, two load ports(13A,13B) are located by separating each other, and a transfer instrument(14) is installed between the load ports and the probe room to transfer the objects within the loader room. Each load ports are located respectively along the transferring path of an auto transfer apparatus of the cassette.

Abstract translation: 提供了一种检查装置和检查方法，以减少占用空间并变换为双重装载型检查装置，并且通过连接到单个装载机型自动传送线来提高检查效率，而不延长 单加载类型。 探测室对对象执行测试。 装载机房（11）位于探测室的侧面。 安装有用于存放多个物体的盒子，通过彼此分离地设置两个装载口（13A，13B），并且在装载口和探测室之间安装转印器具（14），以将装载室内的物体 。 各加载口分别沿着盒的自动传送装置的传送路径定位。

公开(公告)号：KR100659412B1

公开(公告)日：2006-12-18

申请号：KR1020020009527

申请日：2002-02-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 토미타마사루 ,  아키야마슈지

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67294 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/141

Abstract: 웨이퍼이송시스템에 있어서, 그 이송처리에 있어서의 웨이퍼의 자세맞춤에 필요한 시간을 단축화하고, 웨이퍼의 이송효율의 향상을 꾀하는 것을 과제로 한다.
탑재대(41)상에 셋트된 웨이퍼(10)의 중심위치를 산출하고, 그 산출결과와 미리 수취한 ID마크(11)의 위치정보에 기초하여 웨이퍼(10)가 소정 자세로 될 때까지의 탑재대(41)의 선회각도를 산출하고, OCR(43)에 대해서 웨이퍼(10)의 ID마크(11)가 소정의 위치·자세로 되어 웨이퍼(10)가 셋트될 때까지의 이송암(30)의 신축량 및 턴테이블(39)의 선회각도를 산출한다. 그리고, 상기 턴테이블(39)의 선회각도를 기초로 산출된 탑재대(41)의 선회각도를 보정하고, 보정된 선회각도만큼 탑재대(41)를 선회시켜 웨이퍼(10)를 회전하고, 상기 웨이퍼(10)를 이송장치(3)에 의해 OCR(43)에 이송한다.

公开(公告)号：KR100297283B1

公开(公告)日：2001-10-24

申请号：KR1019950022244

申请日：1995-07-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  호사카히로키 ,  이시이다카오

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은, 검사전의 반도체 디바이스를 받아넘기는 로더부 및 검사후의 반도체 디바이스를 받아들이는 언로더부를 가지는 로더/언로더유니트와, 검사위치의 반도체 디바이스에 대하여 테스트신호를 보내어 그 전기적 특성의 적합여부를 판정하는 검사부를 가지는 검사유니트를 구비하는 검사장치에 있어서, 상기 검사유니트는 상기 로더/언로더유니트에서 분리가능하도록 연결되어 있으며, 상기 검사유니트와 상기 로더/언로더유니트의 사이에 설치되고, 복수의 검사전의 반도체 디바이스가 정렬되는 공급용 정렬부와, 상기 검사유니트와 상기 로더/언로더유니트의 사이에 설치되고, 복수의 검사후의 반도체 디바이스가 정렬되는 수납용 정렬부와, 검사전의 반도체 디바이스를 상기 로더부에서 상기 공급용 정렬부로 반송하고, 검사후의 반도체 디� �이스를 상기 수납용 정렬부에서 상기 언로더부로 반송하는 제1반송수단과, 검사전의 반도체 디바이스를 상기 공급용 정렬부로부터 상기 검사위치까지 반송하고, 검사후의 반도체 디바이스를 상기 검사위치로부터 상기 수납용 정렬부로 반송하는 제2반송수단을 가진다.