公开(公告)号：KR101705858B1

公开(公告)日：2017-02-10

申请号：KR1020130029564

申请日：2013-03-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  아메미야히로시

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073 ,  H01L21/677

Abstract: 종래에비해자원절약화를도모하여, 제조비용을낮출수 있는프로브장치및 웨이퍼반송유닛을제공한다. 반도체웨이퍼에형성된반도체디바이스의전기적인검사를행하는프로브장치로서, 재치대상에재치된상기반도체웨이퍼의상기반도체디바이스에프로브를접촉시켜전기적인측정을행하는측정부와, 반도체웨이퍼수납용기가재치되는로드포트와, 상하구동기구와회전구동기구와수평구동기구를가지고, 상기반도체웨이퍼수납용기와상기재치대의사이에서상기반도체웨이퍼를반송가능하게이루어진웨이퍼반송기구와, 상기웨이퍼반송기구의상기상하구동기구에의해상하이동가능하게이루어지고, 상기반도체웨이퍼수납용기의덮개를개폐하는덮개개폐기구를구비한프로브장치.

Abstract translation: 本发明提供一种检测器和芯片传输单元，与现有技术相比，源节省，制造成本降低。 检测器包括如下部件：检测部分，其使得探针能够接触布置在用于电检测的负载台上的半导体芯片的半导体器件; 装载部分，其装载半导体芯片容纳容器; 具有上下驱动机构，旋转驱动机构和水平驱动机构的芯片输送机构，其中半导体芯片可以在半导体芯片容纳容器和装载台之间传送; 以及盖开闭机构，其能够通过上下驱动机构的上下运动使得半导体芯片容纳容器的盖开闭。

公开(公告)号：KR1020130105397A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：KR1020130024513

申请日：2013-03-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  아메미야히로시

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073

Abstract: PURPOSE: A probe apparatus and a method for mounting the probe card of the probe apparatus are provided to prevent the generation of damage, etc. by accurately delivering the probe card. CONSTITUTION: A card clamp tool (13) holds and release a probe card (20). The probe card includes probes. A wafer chuck (10) makes an electrode touch the probe. The probe card is installed on the upper surface of a tray (21). A position control mark is installed on the lower surface of the tray. [Reference numerals] (40) Control unit; (41) Operation unit; (42) Memory unit

Abstract translation: 目的：提供一种用于安装探针装置的探针卡的探针装置和方法，以通过精确地传送探针卡来防止产生损伤等。 构成：卡夹工具（13）保持和释放探针卡（20）。 探针卡包括探针。 晶片卡盘（10）使电极接触探针。 探针卡安装在托盘（21）的上表面上。 位于托盘的下表面上的位置控制标记。 （附图标记）（40）控制单元; （41）操作单元; （42）存储单元

公开(公告)号：KR101208800B1

公开(公告)日：2012-12-06

申请号：KR1020090092381

申请日：2009-09-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아메미야히로시 ,  가타기리히로후미 ,  오츠카사토시 ,  후치가미신지

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66

Abstract: 본발명은공기의순환장치를콤팩트화하는동시에프로버실내의이슬점을안정화하여, 신뢰성이높은저온검사를실행할수 있는검사장치및 검사방법을제공한다. 본발명의검사장치(10)는프로버실(12)과, 프로버실(12)의배면을따라배치되는동시에프로버실(12) 내의건조공기를순환시키는순환장치(13)와, 순환장치(13) 및프로버실(12) 내의탑재대를포함하는기기를제어하는제어장치(14)를구비하고, 순환장치(13)는프로버실(12) 내의건조공기를순환시키는송풍유닛(131)과, 송풍유닛(131)을통해순환되는건조공기중으로부터티끌과먼지를제거하는필터유닛(132)을구비하고있다.

公开(公告)号：KR1020130107238A

公开(公告)日：2013-10-01

申请号：KR1020130029564

申请日：2013-03-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  아메미야히로시

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L22/14 ,  G01R1/07307 ,  G01R31/2887 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67772 ,  H01L22/30

Abstract: PURPOSE: A probe device and a wafer transfer unit are provided to improve the efficiency of wafer transfer by using a wafer transfer tool and a cover opening tool. CONSTITUTION: A measuring part measures electrical properties. The measuring part makes a probe touch a semiconductor device. A load port(152) arranges a semiconductor wafer receiving container. A wafer transfer tool(160) transfers a semiconductor wafer. A cover opening tool(190) opens and closes the cover of the semiconductor wafer receiving container.

Abstract translation: 目的：提供探针装置和晶片转印单元，以通过使用晶片转移工具和盖打开工具来提高晶片转印的效率。 规定：测量部件测量电气特性。 测量部件使探针接触半导体器件。 负载端口（152）布置半导体晶片接收容器。 晶片转移工具（160）传送半导体晶片。 盖打开工具（190）打开和关闭半导体晶片接收容器的盖。

公开(公告)号：KR1020040060799A

公开(公告)日：2004-07-06

申请号：KR1020030097387

申请日：2003-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아메미야히로시 ,  가와구치고지 ,  스즈키마사루

IPC: H01L21/66

CPC classification number: B23Q5/34 ,  B23Q7/1442 ,  G01R31/2887

Abstract: PURPOSE: A transporting apparatus, a movable probe card transporting apparatus, a probe apparatus, and a method for transporting the probe card into the probe apparatus are provided to maintain large probe cards in parallel with one another in the probe apparatus. CONSTITUTION: A transporting mechanism includes a base(13), a first arm(15), a second arm(16), a pair of rotary bodies(17A,17B), an endless belt(17C), and first and second connection members(18A,18B). The first arm is arranged on the base to be movable forward/backward. The second arm is arranged on the first arm mechanism to be movable forward/backward. The rotary bodies are arranged at front and rear portions, respectively, of the first arm mechanism. The endless belt is wound between the rotary bodies. The first connection member connects the endless belt to the base, and the second connection member connects the endless belt to the second arm. The first and second arms move forward/backward on the base when the endless belt is moved around the rotary bodies.

Abstract translation: 目的：提供用于将探针卡传送到探针装置中的运送装置，可移动探针卡传送装置，探针装置和方法，以在探针装置中保持大的探针卡彼此平行。 构成：输送机构包括基座（13），第一臂（15），第二臂（16），一对旋转体（17A，17B），环形带（17C）以及第一和第二连接构件 （18A，18B）。 第一臂布置在基座上可向前/向后移动。 第二臂布置在第一臂机构上以可前后移动。 旋转体分别设置在第一臂机构的前后部。 环形带缠绕在旋转体之间。 第一连接构件将环形带连接到基部，并且第二连接构件将环形带连接到第二臂。 当环形皮带围绕旋转体移动时，第一和第二臂在底座上向前/向后移动。

公开(公告)号：KR1020140105396A

公开(公告)日：2014-09-01

申请号：KR1020140019444

申请日：2014-02-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  아메미야히로시

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/06733 ,  H01L21/67766

Abstract: Provided are a probe device and a wafer loader, able to control the height of a wafer storage container to the height corresponding to an automated transporter by a transfer robot, and also respond to a large test head or the like. The probe device performing an electrical test on a semiconductor device formed on a semiconductor wafer comprises a probe part and a wafer loader. The probe part includes a placement table; a driving apparatus of the placement table, making a probe in contact with the semiconductor device of the semiconductor wafer placed on the placement table by driving the placement table; and a probe housing accommodating the placement table and the driving apparatus of the placement table. The wafer loader includes a loader housing; a storage container placement table where a wafer storage container is placed; a driving apparatus of the storage container placement table moving the storage container placement table to a first location aside from the loader housing and a second location lower than the first location inside the loader housing; and a wafer transporting apparatus accommodated inside the loader housing and constituted to be able to transport the semiconductor wafer between the wafer storage container and the placement table.

Abstract translation: 提供了一种探针装置和晶片装载器，其能够通过传送机器人将晶片存储容器的高度控制到对应于自动运送器的高度，并且还响应于大的测试头等。 在形成在半导体晶片上的半导体器件上执行电测试的探针器件包括探针部分和晶片加载器。 探针部分包括放置台; 放置台的驱动装置，通过驱动放置台使探针与放置在放置台上的半导体晶片的半导体器件接触; 以及容纳放置台和放置台的驱动装置的探针壳体。 晶片装载机包括一个装载机壳体; 储存容器放置台，其中放置晶片储存容器; 存储容器放置台的驱动装置将储存容器放置台移动到除装载机壳体之外的第一位置和比装载机壳体内的第一位置低的第二位置; 以及容纳在所述加载器壳体内的晶片输送装置，其被构造成能够在所述晶片储存容器和所述放置台之间输送所述半导体晶片。

公开(公告)号：KR101374529B1

公开(公告)日：2014-03-13

申请号：KR1020130024513

申请日：2013-03-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  아메미야히로시

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073

Abstract: 프로브 카드를 반송하여 장착할 시 확실히 전달을 행할 수 있어, 프로브 카드의 파손 등의 발생을 억제할 수 있는 프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 제공한다. 카드 클램프 기구와, 웨이퍼 척과, 하면에 위치 조정용 마크가 설치된 트레이와, 트레이를 지지 가능한 트레이 지지 기구와, 카메라와, 트레이를 트레이 지지 기구와의 전달 위치로 반입시키기 위한 이동 기구와, 이동 기구에 의해 전달 위치에 배치된 트레이의 위치 조정용 마크를 카메라에 의해 촬상하여 그 위치를 검출하고, 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있을 경우에는, 이동 기구로부터 트레이 지지 기구로의 프로브 카드의 전달을 행하고, 소정의 범위 외에 있을 경우에는, 프로브 카드의 전달을 중지하는 제어 수단을 구비하고 있다.

公开(公告)号：KR1019980071258A

公开(公告)日：1998-10-26

申请号：KR1019980003953

申请日：1998-02-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아메미야히로시

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명의 실시예에 있어서, 프로브 장치는 웨이퍼를 운반하기 위한 운반 기구를 가지는 로더 챔버와, 이 로더 챔버에 인접하게 배열되고 X 방향, Y 방향, Z 방향 및 θ 방향으로 이동 가능한 메인 척을 가지는 프로버 챔버와, 프로버 챔버를 로더 챔버로부터 격리시키기 위한 격벽과, 이 격벽내에 형성되는 웨이퍼의 로딩/언로딩 포트를 개방/폐쇄하기 위한 도어를 포함한다. 이러한 프로브 장치는 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하는 한편, 습기 응결이 발생하지 않는 온도의 건조 공기를 프로버 챔버내에 공급하여 웨이퍼를 메인 척을 통해 냉각시킨다. 고온 가스 분사 기구는 고온 가스를 로딩/언로딩 포트를 통해 프로버 챔버로부터 로더 챔버로 이동하는 웨이퍼상에 분사하므로써, 웨이퍼를 실온보다 높은 온도로 가열한다.

公开(公告)号：KR101103430B1

公开(公告)日：2012-01-09

申请号：KR1020100085459

申请日：2010-09-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  아메미야히로시 ,  마츠자키고이치 ,  다나카간지

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 피검사체와 프로브 카드가 전기적으로 접촉할 때의 헤드 플레이트의 위치 어긋남을 억제하여, 신뢰성이 높은 검사를 행할 수 있는 헤드 플레이트의 레벨링 기구 및 프로브 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 레벨링 기구(20)는, 헤드 플레이트(11)의 후단부를 좌우 양단부에서 지지하는 제1 지지 기둥(12)의 상단에 마련되고 또한 헤드 플레이트(11)의 후단부를 좌우 양측에서 각각 개별적으로 승강시키는 한 쌍의 승강 기구(14)와, 한 쌍의 제2 지지 기둥(13)에 가설된 지지체(15)의 중앙에 고정되고 또한 헤드 플레이트(11)의 전단부를 좌우 방향으로 요동 가능하게 축 지지하는 축 기구(16)와, 헤드 플레이트(11)의 전단부와 한 쌍의 제2 지지 기둥(13)의 상단면 각각에 마련되고 또한 헤드 플레이트(11)의 수평 방향의 위치 어긋남을 구속하는 위치 구속 기구(19)를 구비하고 있다.

公开(公告)号：KR101025389B1

公开(公告)日：2011-03-29

申请号：KR1020080064975

申请日：2008-07-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아메미야다이사쿠 ,  아메미야히로시

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073

Abstract: 본 발명의 과제는, 프로브를 피검사체 전극 패드에 전기적으로 접촉시켜 상기 피검사체의 전기적 특성을 측정함에 있어서, 장치의 소형화를 도모할 수 있으며, 또한 테스트 헤드를 적절하게 프로브 본체에 장착시키는 것이다. 상기 과제를 해결 수단으로서, 테스트 헤드를 보지체에 의해 보지(保持)하고, 프로브 본체의 천장판으로부터 이격된 퇴피 위치로부터 수평 자세의 위치까지 회전시킨 후, 이 테스트 헤드를 프로브 본체에 마련된 승강 지지 기구에 인도하고, 이 승강 지지 기구에 의해 테스트 헤드를 하강시켜서, 프로브 본체에 테스트 헤드를 장착시킨다. 테스트 헤드의 회전중이나 하강중에 프로브 본체의 부재에 테스트 헤드가 간섭하지 않으므로, 테스트 헤드를 프로브 본체에 확실하게 장착할 수 있고, 그 때문에 테스트 헤드의 힌지 기구를 프로브 본체의 상면에 탑재할 수 있으며, 이에 따라 장치의 소형화를 도모할 수 있다.

Abstract translation: 通过用探针与测试受试者电极焊盘测量所述物体的电特性的电接触，本发明的目的，在作为被检查，所以能够降低装置的尺寸，是也连接到探针体，以适合的测试头。 作为解决上述问题的手段，见（保持）被人体看到测试头和，在旋转之后，以从探针主体的顶板远离所述缩回位置的水平位置的位置，解除提供给测试头与探针体支撑机构 测试头由升降支撑机构降低，以将测试头安装在探头主体上。 在测试头的转动方向，因为它不具有测试头下降过程中与探针体的构件发生干涉，所以能够可靠地安装在测试头到探针体，所以可在探头主体的上表面上配备有测试头的一个铰链机构， 结果，可以减小设备的尺寸。