公开(公告)号：KR1020170113090A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：KR1020170028960

申请日：2017-03-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모우리노부히코 ,  카미토모신고 ,  야리미츠마사카즈 ,  히로세타케루 ,  우라토모히토

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/67046 ,  B08B1/002 ,  B08B17/00 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/68735

Abstract: 기판을정밀도좋게두면서, 기판의하면에있어서의액 잔류를저감하는것이다. 실시형태에따른액 처리장치는경사부와복수의지지부재와처리액공급부와회전기구를구비한다. 경사부는기판의하방에배치되고, 기판의외측으로부터기판의내측을향해내리막경사지고또한기판의둘레방향을따라연장되는경사면을가진다. 복수의지지부재는경사면에대하여돌출하여마련되고, 기판을하방으로부터지지한다. 처리액공급부는복수의지지부재에지지된기판의상면에처리액을공급한다. 회전기구는경사부를회전시킨다. 또한, 복수의지지부재는기판의외측으로부터기판의내측을향해연장되는좁고긴 형상을가진다.

Abstract translation: 在保持基板高精度的同时减少基板中的液体残留物。 本实施方式的液体处理装置具有倾斜部，多个支承部件，处理液供给部以及旋转机构。 倾斜部分设置在基板下方并具有倾斜表面，该倾斜表面从基板的外侧朝向基板的内侧向下倾斜并且沿基板的周向延伸。 多个支撑部件从倾斜面突出设置，从下方支撑基板。 处理液体供应单元将处理液体供应到由多个支撑构件支撑的基板的上表面。 旋转机构旋转倾斜部分。 此外，多个支撑构件具有从基板的外侧朝向基板的内侧延伸的狭窄且长的形状。