公开(公告)号：KR1020170073496A

公开(公告)日：2017-06-28

申请号：KR1020160170220

申请日：2016-12-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마다가즈키 ,  가토다이키 ,  오오치겐지 ,  마츠자키가즈요시

IPC: H01L51/52 ,  H01L51/56 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  C23C16/34 ,  C23C16/56

Abstract: 방습성이높고얇은유기 EL 소자를제공한다. 유리기판(G) 상에형성되어있는유기 EL 소자(106)를밀봉하는밀봉막(105)의성막방법이며, 실리콘함유가스와할로겐원소함유가스를포함하는혼합가스, 또는실리콘함유가스와질소보다전기적부성이강한관능기를함유하는가스를포함하는혼합가스를처리용기(1) 내에공급하는공정과, 처리용기(1) 내에있어서혼합가스의플라즈마를생성하는공정과, 플라즈마에의해활성화된혼합가스에의해, 유기 EL 소자(106)를덮도록밀봉막(105)을성막하는성막공정을포함한다.

Abstract translation: 由此提供具有高耐湿性和薄的有机EL器件。 形成在用于密封的玻璃基板（G）的有机EL元件106的密封膜105城堡膜的方法，比混合气体，或含硅气体和含氮含硅气体和含卤族元素的气体 向处理容器1内供给含有具有高电气亲和性的官能团的气体的混合气体的工序;在处理容器1内生成混合气体的等离子体的工序; ，形成密封膜105以覆盖有机EL元件106。