公开(公告)号：KR1020150073117A

公开(公告)日：2015-06-30

申请号：KR1020140184582

申请日：2014-12-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오카모토노리히코 ,  야마사키마코토

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67259

Abstract: 도포액을낭비없이균일하게기판상에도포한후에, 웨이퍼단부의도포막을제거할수 있는도포막제거장치를제공하는것을목적으로한다. 기판(W)에도포된도포막의단부를제거하는도포막제거장치(41)에있어서, 상기기판(W)을보유지지하는기판보유지지기구(440)와, 상기기판(W)의단부면을검출하는단부면검출기구(450)와, 상기기판(W)에도포된도포막의단부를제거하는단부제거기구(460)와, 상기기판보유지지기구(440)또는단부제거기구(460)를이동시키는이동기구(445)를구비하고, 상기단부면검출기구(450)에서검출한기판(W)의단부면에따라서상기이동기구(445)에의해상기기판보유지지기구(440)와상기단부제거기구(460)를상대적으로이동시키면서, 상기단부제거기구(460)에서기판(W)에도포된도포막의단부를제거하는것으로했다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种涂膜除去装置，其能够在没有浪费的基材均匀涂布涂布液之后，除去晶片末端的涂膜。 用于去除涂布有基材（W）的涂膜的端部的涂膜除去装置（41）包括：用于保持基板（W）的基板保持装置（440）; 用于检测基板（W）的端面的端面检测装置（450）; 用于去除涂覆有所述基材（W）的所述涂膜的端部的末端去除装置（460） 以及用于移动基板保持装置（440）或端部移除装置（460）的移动装置（445）。 通过端部移除装置（460）除去涂覆有基板（W）的涂膜的端部，同时基板保持装置（440）和端部移除装置（460）被移动装置（445）相对移动 ）沿着由端面检测装置（450）检测的基板（W）的端面。