公开(公告)号：KR100248570B1

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019930016109

申请日：1993-08-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  동경 엘렉트론 에이티 주식회사

Inventor： 야마시타사토루

IPC: H01L21/66

Abstract: 프로우브침은 350℃ 온도 까지 가열한 후에 룸온도로 5시간이상 냉각되어 74~76 중량부의 금과, 24~26중량부의 동과의 금-동 합금으로 이루어지는 Au-Cu 합금으로 형성된다.

公开(公告)号：KR1019940024948A

公开(公告)日：1994-11-19

申请号：KR1019940008003

申请日：1994-04-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나가사와야스시 ,  야마시타사토루 ,  마쓰도마사히코

IPC: H01L21/66

公开(公告)号：KR100272304B1

公开(公告)日：2000-12-01

申请号：KR1019940008003

申请日：1994-04-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나가사와야스시 ,  야마시타사토루 ,  마쓰도마사히코

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07357 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/0675 ,  G01R1/06761 ,  G01R1/06772 ,  G01R3/00 ,  Y10T137/5762

Abstract: 신호전류가 흐르는 선재의 외면에, 제1절연막을 통하여 도전막을 피복시키고, 다시 이 도전막의 외면에 제2절연막을 피복하며, 도전막은 접지한다.
이것에 의하여, 신호전류가 흐르는 선재는 도전막에 의하여 시일드되기 때문에, 노이즈 영향도 받지 않고, 신호전류 상호간의 크로스 토크도 방지된다. 더구나 제2절연막에 의하여 다른 프로우브 침과의 상호 접촉에 의한 영향도 없기 때문에, 정확하고 안정한 측정이 가능해진다.
프로우브 침의 비코팅부분을 녹인 열용융성 왁스로 덮고, 비코팅부분을 덮은 열용융성 왁스를 상온에서 경화하며, 프로우브 침 본체에 진공증착에 의하여 코팅을 실시하고, 열용융성 왁스를 다시 가열하여 녹이며, 프로우브 침으로부터 상기 열용융성 왁스를 제거함으로써, 프로우브 침의 코팅이 이루어진다. 그 결과, 마스킹 경계에서 코팅부분과 비코팅부분이 정확하게 구분된 프로우브 침을 얻을 수 있다. 또, 코팅이 종료한 프로우브 침에 대하여 세정처리를 실시하는 것에 의하여 남아 있는 왁스를 완전히 제거될 수 있다.

公开(公告)号：KR100230695B1

公开(公告)日：1999-11-15

申请号：KR1019930010093

申请日：1993-06-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  동경 엘렉트론 에이티 주식회사

Inventor： 야마시타사토루

IPC: H01L21/66

Abstract: LCD 기판상에 배열설치된 복수의 전극패드를 구비하는 LCD 의 반제품의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로우브카드는, 카드기판과 이것에 착설된 4각기둥 형상의 지지틀을 구비한다.
지지틀에는 상기 전극패드와 동일한 수의 안내홈이 형성되며, 긱 홈내에 프로우브침이 장착된다. 홈은 지지틀에 접착된 누름판에 의하여 부분적으로 폐쇄된다.
프로우브침은 홈으로부터 돌출하고, 앞끝단부에 전극패드에 접촉하기 위한 접촉부가 형성된다.
카드기판, 지지틀및 누름판은, LCD 기판과 실질적으로 동일한 재료로 형성되어, 프로우브침 사이의 간격과 전극패드 사이의 간격이 열팽창에 의하여 상위하지 않도록 되어 있다.

公开(公告)号：KR1019940004769A

公开(公告)日：1994-03-15

申请号：KR1019930016109

申请日：1993-08-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  동경 엘렉트론 에이티 주식회사

Inventor： 야마시타사토루

IPC: H01L21/66

Abstract: 프로우브침은 350℃온도 까지 가열한후에 룸온도로 5신간이상 냉각도어 74∼76중량부의 금과 024∼26중량부의 동과의 금-동 합금으로 이루어지는 Au-Cu 합금으로 형성된다.