公开(公告)号：KR100958766B1

公开(公告)日：2010-05-18

申请号：KR1020067014057

申请日：2005-08-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나까지마와따루 ,  오이까와다꾸야 ,  이노우에히사시

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/324 ,  H01L21/67109

Abstract: 본 발명은 피처리체를 수용하는 처리 용기와, 상기 처리 용기의 주위를 둘러싸도록 마련되고, 상기 처리 용기를 가열하는 동시에 급속 냉각 기능을 갖는 주요 히터와, 상기 처리 용기의 상부에 있어서 굴곡 형성된 배기구부와, 상기 배기구부를 가열하기 위해 마련된 보조 히터와, 상기 주요 히터의 급속 냉각시에 상기 보조 히터를 상기 배기구부로부터 퇴피시키기 위한 이동 기구와, 상기 배기구부 주변의 분위기를 강제 배기하기 위한 강제 배기 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.
처리 용기, 배기구부, 주요 히터, 보조 히터, 종형 열처리 장치

公开(公告)号：KR1020070044798A

公开(公告)日：2007-04-30

申请号：KR1020067014057

申请日：2005-08-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나까지마와따루 ,  오이까와다꾸야 ,  이노우에히사시

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/324 ,  H01L21/67109

Abstract: 본 발명은 피처리체를 수용하는 처리 용기와, 상기 처리 용기의 주위를 둘러싸도록 마련되고, 상기 처리 용기를 가열하는 동시에 급속 냉각 기능을 갖는 주요 히터와, 상기 처리 용기의 상부에 있어서 굴곡 형성된 배기구부와, 상기 배기구부를 가열하기 위해 마련된 보조 히터와, 상기 주요 히터의 급속 냉각시에 상기 보조 히터를 상기 배기구부로부터 퇴피시키기 위한 이동 기구와, 상기 배기구부 주변의 분위기를 강제 배기하기 위한 강제 배기 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.
처리 용기, 배기구부, 주요 히터, 보조 히터, 종형 열처리 장치